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1. (WO2019063561) SAMPLE PRE-CHARGING METHODS AND APPARATUSES FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/063561 国際出願番号: PCT/EP2018/075996
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 25.09.2018
IPC:
H01J 37/02 (2006.01) ,H01J 37/04 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
出願人:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
発明者:
LIU, Xuedong; US
XI, Qingpo; US
JIANG, Youfei; US
REN, Weiming; US
HU, Xuerang; US
CHEN, Zhongwei; US
代理人:
PETERS, John; NL
優先権情報:
62/566,15329.09.2017US
発明の名称: (EN) SAMPLE PRE-CHARGING METHODS AND APPARATUSES FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS DE PRÉ-CHARGEMENT D'ÉCHANTILLON POUR INSPECTION DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
要約:
(EN) Disclosed herein is an apparatus comprising: a source of charged particles configured to emit a beam of charged particles along a primary beam axis of the apparatus; a condenser lens configured to cause the beam to concentrate around the primary beam axis; an aperture; a first multi-pole lens; a second multi-pole lens; wherein the first multi-pole lens is downstream with respect to the condenser lens and upstream with respect to the second multi-pole lens; wherein the second multi-pole lens is downstream with respect to the first multi-pole lens and upstream with respect to the aperture.
(FR) Cette invention concerne un appareil comprenant : une source de particules chargées configurée pour émettre un faisceau de particules chargées le long d'un axe de faisceau primaire de l'appareil ; une lentille condensatrice configurée pour amener le faisceau à se concentrer autour de l'axe de faisceau primaire ; une ouverture ; une première lentille multipolaire ; une seconde lentille multipolaire, la première lentille multipolaire étant en aval par rapport à la lentille condensatrice et en amont par rapport à la seconde lentille multipolaire, la seconde lentille multipolaire étant en aval par rapport à la première lentille multipolaire et en amont par rapport à l'ouverture.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)