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1. (WO2019063313) METROLOGY METHOD AND DEVICE
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国際公開番号: WO/2019/063313 国際出願番号: PCT/EP2018/074841
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 14.09.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
ASML HOLDING N.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
発明者:
SHMAREV, Yevgeniy, Konstantinovich; US
PANDEY, Nitesh; NL
KOOLEN, Armand, Eugene, Albert; NL
代理人:
SLENDERS, Peter; NL
優先権情報:
62/565,03328.09.2017US
発明の名称: (EN) METROLOGY METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MÉTROLOGIE
要約:
(EN) An inspection apparatus, including: an objective configured to receive diffracted radiation from a metrology target having positive and negative diffraction order radiation; an optical element configured to separate the diffracted radiation into portions separately corresponding to each of a plurality of different values or types of one or more radiation characteristics and separately corresponding to the positive and negative diffraction orders; and a detector system configured to separately and simultaneously measure the portions.
(FR) La présente invention concerne un appareil d'inspection qui comprend : un objectif configuré pour recevoir un rayonnement diffracté provenant d'une cible de métrologie ayant un rayonnement doté d'un ordre de diffraction positif et négatif ; un élément optique configuré pour séparer le rayonnement diffracté en parties correspondant séparément à chaque valeur ou type d'une pluralité de valeurs ou de types différents d'une ou de plusieurs caractéristiques de rayonnement et correspondant séparément aux ordres de diffraction positif et négatif ; et un système de détection configuré pour mesurer séparément et simultanément les parties.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)