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1. (WO2019059326) 表面応力センサ、中空構造素子及びそれらの製造方法
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国際公開番号: WO/2019/059326 国際出願番号: PCT/JP2018/034938
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 20.09.2018
IPC:
G01L 1/18 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01) ,G01N 5/02 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
1
力または応力の測定一般
18
圧抵抗物質,すなわち加えられた力の大きさまたは方向の変化に応じてオーム抵抗が変化する物質,の特性を利用するもの
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
C
マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に,特に適合した方法または装置
1
基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
5
重量測定による材料分析,例.気体または液体から分離した小粒子の重量測定によるもの
02
材料の成分を吸収または吸着させ,吸着剤の重量変化を測定するもの,例.含水率の測定
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
84
外からの機械的力,例.圧力,の変化によって制御可能なもの
出願人:
旭化成株式会社 ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都千代田区有楽町一丁目1番2号 1-1-2 Yurakucho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006, JP
発明者:
村上 貴宣 MURAKAMI Takanori; JP
望月 秀則 MOCHIZUKI Hidenori; JP
平嶋 大樹 HIRASHIMA Daiki; JP
加藤 静一 KATO Seiichi; JP
小松 和磨 KOMATSU Kazuma; JP
代理人:
田中 秀▲てつ▼ TANAKA Hidetetsu; JP
森 哲也 MORI Tetsuya; JP
優先権情報:
2017-18013220.09.2017JP
2017-24644222.12.2017JP
2018-04723414.03.2018JP
2018-17653820.09.2018JP
発明の名称: (EN) SURFACE STRESS SENSOR, HOLLOW STRUCTURAL ELEMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CAPTEUR DE CONTRAINTE DE SURFACE, ÉLÉMENT STRUCTUREL CREUX ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CEUX-CI
(JA) 表面応力センサ、中空構造素子及びそれらの製造方法
要約:
(EN) Provided are a surface stress sensor with which a deterioration in measuring accuracy can be suppressed, and a method for manufacturing the same. A surface stress sensor (1) is provided with: a membrane (22) which deflects in response to an applied surface stress; a frame member (24) which encloses the membrane (22) with a gap therebetween when seen from the thickness direction of the membrane (22); at least one pair of coupling portions (26) which are disposed in positions sandwiching the membrane (22) when seen from the thickness direction of the membrane (22) and which couple the membrane (22) to the frame member (24); a flexible resistor (50) which is provided on at least one of the coupling portions (26) and which has a resistance value that varies in accordance with the deflection invoked in the coupling portion (26); and a supporting base (10) which is connected to the frame member (24) and overlaps the frame member (24) when seen from the thickness direction of the membrane (22); wherein a gap portion (40) is provided between the membrane (22) and the supporting base (10).
(FR) L'invention concerne un capteur de contrainte de surface avec lequel une détérioration de précision de mesure peut être supprimée, et un procédé de fabrication de celui-ci. Un capteur de contrainte de surface (1) est pourvu de : une membrane (22) qui se déforme en réponse à une contrainte de surface appliquée ; un élément de cadre (24) qui enferme la membrane (22) avec un espace entre eux lorsque l'on regarde depuis la direction d'épaisseur de la membrane (22) ; au moins une paire de parties d'accouplement (26) qui sont disposées dans des positions prenant en sandwich la membrane (22) lorsque l'on regarde depuis la direction d'épaisseur de la membrane (22) et qui accouplent la membrane (22) à l'élément de cadre (24) ; une résistance flexible (50) qui est disposée sur au moins une des parties d'accouplement (26) et qui a une valeur de résistance qui varie en fonction de la déviation obtenue dans la partie d'accouplement (26) ; et une base de support (10) qui est reliée à l'élément de cadre (24) et qui chevauche l'élément de cadre (24) lorsque l'on regarde depuis la direction d'épaisseur de la membrane (22) ; une partie espace (40) étant disposée entre la membrane (22) et la base de support (10).
(JA) 測定精度の劣化を抑制することが可能な、表面応力センサ及びその製造方法を提供する。印加された表面応力によって撓むメンブレン(22)と、メンブレン(22)の厚さ方向から見て隙間を空けてメンブレン(22)を包囲する枠部材(24)と、メンブレン(22)の厚さ方向から見てメンブレン(22)を挟む位置に配置されてメンブレン(22)と枠部材(24)とを連結する少なくとも一対の連結部(26)と、連結部(26)のうち少なくとも一つに備えられ、連結部(26)に起きた撓みに応じて抵抗値が変化する可撓性抵抗(50)と、枠部材(24)に接続され、且つメンブレン(22)の厚さ方向から見て枠部材(24)と重なる支持基材(10)を備える表面応力センサ(1)であり、メンブレン(22)と支持基材(10)との間に空隙部(40)が設けられている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)