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1. (WO2019059247) 圧電振動素子の製造方法及び圧電振動子の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/059247 国際出願番号: PCT/JP2018/034711
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 20.09.2018
IPC:
H03H 3/02 (2006.01) ,H03H 3/04 (2006.01) ,H03H 9/19 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3
インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007
電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
02
圧電または電わい共振器または回路網の製造のためのもの
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3
インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007
電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
02
圧電または電わい共振器または回路網の製造のためのもの
04
所望の周波数または温度係数を得るためのもの
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
15
圧電または電わい材料からなる共振器の構造上の特徴
17
単一の共振器を持つもの
19
水晶からなるもの
出願人:
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP
発明者:
山本 裕之 YAMAMOTO, Hiroyuki; JP
代理人:
稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki; JP
大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi; JP
優先権情報:
2017-18277322.09.2017JP
発明の名称: (EN) MANUFACTURING METHOD OF PIEZOELECTRIC VIBRATION ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD OF PIEZOELECTRIC VIBRATOR
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D’ÉLÉMENT DE VIBRATION PIÉZOÉLECTRIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE VIBRATEUR PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電振動素子の製造方法及び圧電振動子の製造方法
要約:
(EN) This manufacturing method of a piezoelectric vibration element 10 includes: preparing a piezoelectric substrate 11; providing a first electrode layer 60a on a first main surface 12a of the piezoelectric substrate 11; disposing a mask 70a on the side of the first main surface 12a of the piezoelectric substrate 11; and irradiating a radiation beam 90a through the mask 70a from the side of the first main surface 12a of the piezoelectric substrate 11, wherein a peripheral region 74a of the mask 70a is configured such that the amount of a radiation beam passing therethrough is greater than the amount of a radiation beam passing through a central region 72a, and irradiating the radiation beam 90a from the side of the first main surface 12a includes irradiating the radiation beam 90a to remove a portion of the first electrode layer 60a such that the first excitation electrode 14a having a small thickness from the central region 72a of the mask 70a to the peripheral region 74a is formed on the first main surface 12a of the piezoelectric substrate 11.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un élément de vibration piézoélectrique (10) comprenant : la préparation d'un substrat piézoélectrique (11) ; l'utilisation d'une première couche d'électrode (60a) sur une première surface principale (12a) du substrat piézoélectrique (11) ; la disposition d'un masque (70a) sur le côté de la première surface principale (12a) du substrat piézoélectrique (11) ; et l'irradiation d'un faisceau de rayonnement (90a) à travers le masque (70a) depuis le côté de la première surface principale (12a) du substrat piézoélectrique (11), une région périphérique (74a) du masque (70a) étant conçue de sorte que la quantité d'un faisceau de rayonnement qui la traverse soit supérieure à la quantité d'un faisceau de rayonnement traversant une région centrale (72a), et l'irradiation du faisceau de rayonnement (90a) depuis le côté de la première surface principale (12a) comprend l'irradiation du faisceau de rayonnement (90a) pour retirer une partie de la première couche d'électrode (60a), de sorte que la première électrode d'excitation (14a) ayant une faible épaisseur, de la région centrale (72a) du masque (70a) à la région périphérique (74a), soit formée sur la première surface principale (12a) du substrat piézoélectrique (11).
(JA) 圧電振動素子10の製造方法は、圧電基板11を準備すること、圧電基板11の第1主面12aに第1電極層60aを設けること、圧電基板11の第1主面12aの側にマスク70aを配置すること、圧電基板11の第1主面12aの側からマスク70aを通して放射ビーム90aを照射することを含み、マスク70aの周辺領域74aは、中央領域72aよりも通過する放射ビーム量が大きくなるように構成され、第1主面12aの側から放射ビーム90aを照射することは、放射ビーム90aを照射して第1電極層60aの一部を除去することによって、圧電基板11の第1主面12aに、マスク70aの中央領域72aから周辺領域74aにかけて厚さが薄い第1励振電極14aを形成することを含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)