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1. (WO2019059236) 形状計測センサ
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国際公開番号: WO/2019/059236 国際出願番号: PCT/JP2018/034669
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 19.09.2018
IPC:
G01J 1/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01) ,H01L 31/12 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1
測光,例.写真の露出計
02
細部
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24
輪郭または曲率の測定用
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
12
1つ以上の電気光源,例.エレクトロルミネッセンス光源,と構造的に結合されたもの,例.1つの共通基板内または上に形成されたもの,およびその電気光源と電気的または光学的に結合されたもの
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
宅見 宗則 TAKUMI Munenori; JP
豊田 晴義 TOYODA Haruyoshi; JP
松井 克宜 MATSUI Yoshinori; JP
鈴木 一隆 SUZUKI Kazutaka; JP
中村 和浩 NAKAMURA Kazuhiro; JP
内田 圭祐 UCHIDA Keisuke; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-18009920.09.2017JP
発明の名称: (EN) SHAPE MEASUREMENT SENSOR
(FR) CAPTEUR DE MESURE DE FORME
(JA) 形状計測センサ
要約:
(EN) This shape measurement sensor is provided with: a light receiving unit on which light reflected on a measurement line is incident; and a calculation unit which calculates positon information about positions on the measurement line on the basis of the incident position of the light. The light receiving unit includes multiple pixel pairs which are arranged in a first direction and which each include a first pixel that generates a first electric signal according to the light amount of light incident thereon, and a second pixel that generates a second electric signal according to the light amount of light incident thereon and that is disposed side by side, in a first direction intersecting with the irradiation direction, with the first pixel. In the first pixel, when the incident position is closer to one end, of the light receiving unit, in a second direction intersecting with the first direction, the intensity of the first electric signal is lowered. In the second pixel, when the incident position is closer to the one end in the second direction, the intensity of the second electric signal is increased. The calculation unit acquires the first electric signal and the second electric signal of each pixel pair, and calculates the incident position in the second direction for each pixel pair on the basis of the intensity of the acquired first electric signal and the intensity of the acquired second electric signal.
(FR) La présente invention concerne un capteur de mesure de forme qui est pourvu de : une unité de réception de lumière sur laquelle une lumière réfléchie sur une ligne de mesure est incidente ; et une unité de calcul qui calcule des informations de position concernant des positions sur la ligne de mesure sur la base de la position d’incidence de la lumière. L’unité de réception de lumière comprend des paires de pixels multiples qui sont agencées dans une première direction et qui comprennent chacune un premier pixel qui génère un premier signal électrique en fonction de la quantité de lumière incidente sur celui-ci, et un deuxième pixel qui génère un deuxième signal électrique en fonction de la quantité de lumière incidente sur celui-ci et qui est disposé côte à côte, dans une première direction croisant la direction d’irradiation, avec le premier pixel. Dans le premier pixel, lorsque la position d’incidence est plus proche d’une première extrémité, de l’unité de réception de lumière, dans une deuxième direction croisant la première direction, l’intensité du premier signal électrique est diminuée. Dans le deuxième pixel, lorsque la position incidente est plus proche de la première extrémité dans la deuxième direction, l’intensité du deuxième signal électrique est augmentée. L’unité de calcul acquiert le premier signal électrique et le deuxième signal électrique de chaque paire de pixels, et calcule la position d’incidence dans la deuxième direction pour chaque paire de pixels sur la base de l’intensité du premier signal électrique acquis et de l’intensité du deuxième signal électrique acquis.
(JA) 形状計測センサは、計測線において反射した光が入射する受光部と、光の入射位置に基づいて計測線上の各位置の位置情報を算出する算出部とを備える。受光部は、光の入射光量に応じた第1電気信号を生成する第1画素、及び、照射方向と交差する第1方向に沿って第1画素と並んで配置され且つ光の入射光量に応じた第2電気信号を生成する第2画素を各々含んでおり第1方向に沿って配列される複数の画素対を有する。第1画素において受光部の第1方向と交差する第2方向における一端に入射位置が近づくほど、第1電気信号の強度は減少し、第2画素において第2方向における一端に入射位置が近づくほど、第2電気信号の強度は増加する。算出部は、第1電気信号及び第2電気信号を画素対毎に取得し、取得した第1電気信号の強度及び第2電気信号の強度に基づいて、第2方向における入射位置を画素対毎に算出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)