WO2019059040 バルブ装置、調整情報生成方法、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法

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1. (WO2019059040) バルブ装置、調整情報生成方法、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法

国際事務局に記録されている最新の書誌情報

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国際公開番号:	WO/2019/059040	国際出願番号:	PCT/JP2018/033583
国際公開日:	28.03.2019	国際出願日:	11.09.2018

IPC:

F16K 31/122 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,F16K 7/12 (2006.01) ,F16K 31/02 (2006.01)

出願人:

株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP

発明者:

近藤　研太 KONDO Kenta; JP

吉田　俊英 YOSHIDA Toshihide; JP

佐藤　秀信 SATO Hidenobu; JP

中田　知宏 NAKATA Tomohiro; JP

篠原　努 SHINOHARA Tsutomu; JP

滝本　昌彦 TAKIMOTO Masahiko; JP

代理人:

藤本　健司 FUJIMOTO Kenji; JP

優先権情報:

2017-183556

25.09.2017

発明の名称:

(EN) VALVE DEVICE, ADJUSTMENT INFORMATION GENERATING METHOD, FLOW ADJUSTMENT METHOD, FLUID CONTROL DEVICE, FLOW CONTROL METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF SOUPAPE DE VANNE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'INFORMATIONS DE RÉGLAGE, PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE DÉBIT, DISPOSITIF DE RÉGULATION DE FLUIDE, PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE FLUX, DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) バルブ装置、調整情報生成方法、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法

要約:

(EN) A valve device is provided which can precisely adjust flow variation over time and with aging, without using external sensors, or using as few external sensors as possible. This valve device is provided with an adjustment actuator (100) for adjusting the position of an operation member positioned in an open position, a communication unit (210) which receives, from outside of the device, adjustment information relating to adjustment of the degree of opening of the flow path by a valve body, and a control unit (220) which, on the basis of the adjustment information, drives the adjustment actuator (100) to adjust the position of the operation member.
(FR) L'invention concerne un dispositif soupape qui peut régler avec précision une variation de débit dans le temps et avec le vieillissement, sans utiliser de capteurs externes, ou en utilisant un minimum de capteurs externes possible. Ce dispositif soupape comprend : un actionneur de réglage (100) pour régler la position d'un élément d'actionnement placé en position ouverte; une unité de communication (210) qui reçoit, de l'extérieur du dispositif, des informations de réglage concernant le réglage du degré d'ouverture du circuit d'écoulement par un corps de soupape; et une unité de commande (220) qui, sur la base des informations de réglage, commande l'actionneur de réglage (100) pour ajuster la position de l'élément d'actionnement.
(JA) 外部センサを用いることなく、あるいは、可能な限り少数の外部センサを用いて、経時、経年等による流量変動を精密に調整可能なバルブ装置を提供する。　開位置に位置付けられた操作部材の位置を調整するための調整用アクチュエータ（１００）と、弁体による流路の開度調整に係る調整情報を装置外部から受信する通信部（２１０）と、この調整情報に基づいて調整用アクチュエータ（１００）を駆動し操作部材の位置を調整する制御部（２２０）とを有する。

指定国:

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)

国際公開言語:

日本語 (JA)

国際出願言語:

日本語 (JA)

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