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1. (WO2019058969) 貯留容器、気化器、基板処理装置および半導体装置の製造方法
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国際公開番号: WO/2019/058969 国際出願番号: PCT/JP2018/032881
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 05.09.2018
IPC:
C23C 16/448 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
448
反応性ガス流を発生させるために用いる方法に特徴があるもの,例.先行する材料の蒸発または昇華によるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
出願人:
株式会社KOKUSAI ELECTRIC KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区神田鍛冶町三丁目4番地 3-4, Kandakaji-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1010045, JP
発明者:
澤田 元司 SAWADA, Motoshi; JP
北川 直子 KITAGAWA, Naoko; JP
渋谷 光司 SHIBUYA, Koji; JP
早川 慶成 HAYAKAWA, Yoshinari; JP
宇波 博志 UNAMI, Hiroshi; JP
代理人:
特許業務法人アイ・ピー・ウィン PATENT PROFESSIONAL CORPORATION IPWIN; 神奈川県横浜市神奈川区栄町10番地35 ポートサイドダイヤビル Portside Daiya Building, 10-35 Sakae-cho, Kanagawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2210052, JP
優先権情報:
2017-18137921.09.2017JP
発明の名称: (EN) STORAGE CONTAINER, AERATOR, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE, AÉRATEUR, DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 貯留容器、気化器、基板処理装置および半導体装置の製造方法
要約:
(EN) Provided is a configuration for supplying a high-purity aerated gas to a processing chamber by aerating a raw material using an aerator. The configuration is provided with: a container part that forms a storage chamber in the interior of which a liquid or solid raw material is stored; and a lid part in which is disposed piping for discharging the raw material aerated in the storage chamber. The configuration further comprises: a seal section disposed so as to tightly seal the storage chamber between the container part and the lid part; and a joining section disposed on the outer side of the seal section and joining together the container part and the lid part.
(FR) La présente invention concerne une configuration pour distribuer un gaz aéré de pureté élevée dans une chambre de traitement par aération d’une matière première au moyen d’un aérateur. La configuration est pourvue de : une partie de récipient qui forme une chambre de stockage à l’intérieur de laquelle une matière première liquide ou solide est stockée ; et une partie de couvercle dans laquelle est disposée une tuyauterie pour évacuer la matière première aérée dans la chambre de stockage. La configuration comprend en outre : une section d’étanchéité disposée de façon à sceller de façon étanche la chambre de stockage entre la partie de récipient et la partie de couvercle ; et une section de jonction disposée sur le côté externe de la section d’étanchéité et assemblant conjointement la partie de récipient et la partie de couvercle.
(JA) 本発明は、気化器より原料を気化して処理室に高清浄度の気化ガスを供給する構成を提供する。 内部に液体又は固体の原料が貯留される貯留室を構成する容器部と、前記貯留室内で気化された原料を排出する配管が設けられる蓋部と、を備え、前記容器部と前記蓋部の間に前記貯留室を密閉するように設けられるシール部と、該シール部の外側に設けられ、前記容器部と前記蓋部を接合する接合部とを有する構成が提供される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)