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1. (WO2019058893) 異常検知装置、及び異常検知方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/058893 国際出願番号: PCT/JP2018/031735
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 28.08.2018
IPC:
H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01) ,H01L 21/306 (2006.01) ,G05B 23/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
G 物理学
05
制御;調整
B
制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23
制御系またはその一部の試験または監視
02
電気式試験または監視
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
井上 正史 INOUE Masafumi; JP
代理人:
前井 宏之 MAEI Hiroyuki; JP
優先権情報:
2017-18320525.09.2017JP
発明の名称: (EN) ANOMALY DETECTION DEVICE AND ANOMALY DETECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ANOMALIE
(JA) 異常検知装置、及び異常検知方法
要約:
(EN) This anomaly detection device (102) detects an anomaly in a base board processing device (101). The base board processing device (101) executes predetermined processing on a base board (W). The anomaly detection device (102) is equipped with a memory unit (123) and a control unit (124). The memory unit (123) stores statistical reference ranges for variables obtained from a plurality of monitoring targets. The control unit (124) acquires the variables from the plurality of monitoring targets, and on the basis of the reference ranges, calculates statistical degrees of anomaly for the acquired variables. The control unit (124) refers to the degrees of anomaly to determine whether or not to execute the predetermined processing.
(FR) L’invention concerne un dispositif de détection d'anomalie (102) détectant une anomalie au sein d’un dispositif de traitement de carte support (101). Le dispositif de traitement de carte support (101) exécute un traitement prédéfini sur une carte support (W). Le dispositif de détection d'anomalie (102) est équipé d’une unité mémoire (123) et d’une unité de commande (124). L'unité mémoire (123) stocke des plages de référence statistiques pour des variables obtenues à partir d'une pluralité de cibles de surveillance. L'unité de commande (124) acquiert les variables de la pluralité de cibles de surveillance, et sur la base des plages de référence, calcule des degrés statistiques d'anomalie pour les variables acquises. L'unité de commande (124) se réfère aux degrés d'anomalie pour déterminer s'il faut exécuter ou non le traitement prédéfini.
(JA) 異常検知装置(102)は、基板処理装置(101)の異常を検知する。基板処理装置(101)は、基板(W)に対して所定の処理プロセスを実行する。異常検知装置(102)は、記憶部(123)と制御部(124)とを備える。記憶部(123)は、複数の監視対象から得られる変動値の統計的な基準範囲を記憶する。制御部(124)は、複数の監視対象から変動値を取得し、基準範囲に基づいて、取得した変動値の統計的な異常度を算出する。制御部(124)は、異常度を参照して、所定の処理プロセスの実行の可否を判定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)