(EN) This sputtering target contains, as a metal component, Co and one or more metals selected from the group consisting of Cr and Ru, and the molar ratio of the content of the one or more metals selected from the group consisting of Cr and Ru to the content of Co is 1/2 or greater. The sputtering target also contains Nb2O5 as a metal oxide component.
(FR) La cible de pulvérisation cathodique de l'invention comprend, en tant que composant métallique, un Co, et au moins une sorte de métal choisie dans un groupe constitué de Cr et Ru. Le rapport molaire de la teneur en métal d'au moins une sorte choisie dans un groupe constitué de Cr et Ru, vis-à-vis de la teneur en Co, est supérieur ou égal à 1/2. En outre, cette cible de pulvérisation cathodique comprend Nb2O5 en tant que composant d'oxyde métallique.
(JA) この発明のスパッタリングターゲットは、金属成分として、Coと、Cr及びRuからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Cr及びRuからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Coの含有量に対するモル比が1/2以上であり、金属酸化物成分としてNb2O5を含有してなるものである。