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1. (WO2019058511) イオン源装置
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国際公開番号: WO/2019/058511 国際出願番号: PCT/JP2017/034323
国際公開日: 28.03.2019 国際出願日: 22.09.2017
IPC:
H01J 27/20 (2006.01) ,H01J 37/08 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
27
イオンビーム管
02
イオン源;イオン銃
20
粒子の衝撃を利用するもの,例.電離器
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
08
イオン源;イオン銃
出願人:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎二丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025, JP
発明者:
日朝 俊一 HIASA Toshikazu; JP
谷口 愛実 TANIGUCHI Manami; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柳 康樹 YANAGI Yasuki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ION SOURCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF SOURCE D'IONS
(JA) イオン源装置
要約:
(EN) An ion source device 10A is provided with: cathode electrodes 13b, 13b that emit electrons; an anode electrode 13a having a slit 13aa through which ions are extracted; an extraction electrode 15, which is disposed by being separated from the anode electrode 13a in the extraction direction of the ions extracted from the anode electrode 13a, so that a potential difference is formed between the anode electrode 13a and the extraction electrode; and an intermediate electrode 16 that is provided between the anode electrode 13a and the extraction electrode 15. A first potential difference (∆V1) between the anode electrode 13a and the intermediate electrode 16 is larger than a second potential difference (∆V2) between the anode electrode 13a and the extraction electrode 15.
(FR) L'invention porte sur un dispositif source d'ions 10A comprenant : des électrodes de cathode 13b, 13b qui émettent des électrons ; une électrode d'anode 13a comportant une fente 13aa à travers laquelle des ions sont extraits ; une électrode d'extraction 15, qui est disposée en étant séparée de l'électrode d'anode 13a dans la direction d'extraction des ions extraits de l'électrode d'anode 13a, de telle sorte qu'une différence de potentiel soit formée entre l'électrode d'anode 13a et l'électrode d'extraction ; et une électrode intermédiaire 16 qui est disposée entre l'électrode d'anode 13a et l'électrode d'extraction 15. Une première différence de potentiel (∆V1) entre l'électrode d'anode 13a et l'électrode intermédiaire 16 est supérieure à une seconde différence de potentiel (∆V2) entre l'électrode d'anode 13a et l'électrode d'extraction 15.
(JA) イオン源装置10Aは、電子を放出するカソード電極13b,13bと、イオンが引き出されるスリット13aaを有するアノード電極13aと、アノード電極13aとの間で電位差を形成するように、アノード電極13aから引き出されたイオンの引出方向に沿ってアノード電極13aから離間して配置された引出電極15と、アノード電極13aと引出電極15との間に設けられた中間電極16と、を備える。アノード電極13aと中間電極16との間の第1の電位差(ΔV1)は、アノード電極13aと引出電極15との間の第2の電位差(ΔV2)よりも大きい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)