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1. (WO2019054280) 加工装置
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国際公開番号: WO/2019/054280 国際出願番号: PCT/JP2018/033112
国際公開日: 21.03.2019 国際出願日: 06.09.2018
IPC:
B24B 41/06 (2012.01) ,B24B 7/04 (2006.01) ,B24B 41/047 (2006.01) ,F16C 32/06 (2006.01) ,F16H 49/00 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
41
フレーム,ベッド,往復台,主軸台,などの研削機械または装置の構成部分
06
工作物支持具,例.調節可能な支持台
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
7
平担なガラス面の研磨を含む工作物の平面を研削するために設計された機械または装置;そのための附属装置
04
回転型工作物支持テーブルを有するもの
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
41
フレーム,ベッド,往復台,主軸台,などの研削機械または装置の構成部分
04
主軸台;主軸;それに関する特徴
047
平面を加工する研削ヘッド
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
C
軸;たわみ軸;たわみ被覆の中で運動を伝達するための機械的な手段;クランク軸機構の要素;ピボット;枢着;伝動装置,継ぎ手,クラッチまたはブレーキ要素以外の回転工学の要素;軸受
32
その他の軸受
06
軸の運動以外に,少なくとも広区域にわたって形成された流体クッションにより支持された運動部材をもつもの,例.静圧空気軸受
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
H
伝動装置
49
その他の伝動装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社 CANON SEMICONDUCTOR EQUIPMENT INC. [JP/JP]; 茨城県稲敷郡阿見町大字吉原3577 3577, Ohaza Yoshiwara, Ami-machi, Inashiki-gun, Ibaraki 3001195, JP
発明者:
沢口 一也 SAWAGUCHI, Kazuya; JP
奥田 学 OKUDA, Manabu; JP
代理人:
近島 一夫 CHIKASHIMA,Kazuo; JP
大田 隆史 OTA,Takafumi; JP
鱸 英俊 SUZUKI,Hidetoshi; JP
優先権情報:
2017-17611113.09.2017JP
発明の名称: (EN) PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT
(JA) 加工装置
要約:
(EN) This processing device is provided with: a rotatable chuck (23) that holds a processing tool (24); a chuck plate (1) that holds an object to be processed (W); rotors (4, 5, 6, 12, 13) to which the chuck plate (1) is attached and which have a driven-side magnet (13) for magnetic coupling; a hydrostatic gas bearing (2) that rotatably supports the rotors (4, 5, 6, 12, 13); an inclination adjustment means that adjusts the orientation of the hydrostatic gas bearing (2); a motor (18); and transmission means (14, 17) that transmit rotational driving force of the motor (18) to the driving-side magnet (16) for magnetic coupling.
(FR) L’invention concerne un dispositif de traitement équipé : d'un mandrin rotatif (23) qui retient un outil de traitement (24) ; d'une plaque de mandrin (1) qui retient un objet à traiter (W) ; de rotors (4, 5, 6, 12, 13) auxquels est fixée la plaque de mandrin (1) et qui comprennent un aimant côté mené (13) destiné à être couplé magnétiquement ; d’un palier à gaz hydrostatique (2) qui porte à rotation les rotors (4, 5, 6, 12, 13) ; d’un moyen de réglage d'inclinaison qui règle l'orientation du palier à gaz hydrostatique (2) ; d’un moteur (18) ; et de moyens de transmission (14, 17) qui transmettent une force d'entraînement en rotation du moteur (18) à l'aimant côté menant (16) en vue de son couplage magnétique.
(JA) 加工工具(24)を保持する回転可能なチャック(23)と、被加工物(W)を保持するチャックプレート(1)と、前記チャックプレート(1)が取り付けられ、磁気カップリングの従動側磁石(13)を備えたローター(4、5、6、12、13)と、前記ローター(4、5、6、12、13)を回動可能に軸支する静圧気体軸受(2)と、前記静圧気体軸受(2)の姿勢を調整する傾斜調整手段(19)と、モーター(18)と、前記モーター(18)の回転駆動力を前記磁気カップリングの原動側磁石(16)に伝達する伝達手段(14、17)と、を有する加工装置である。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)