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1. (WO2019054238) 弾性波素子およびその製造方法
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国際公開番号: WO/2019/054238 国際出願番号: PCT/JP2018/032772
国際公開日: 21.03.2019 国際出願日: 04.09.2018
IPC:
H03H 9/25 (2006.01) ,H03H 3/08 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25
弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3
インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007
電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
08
弾性表面波を用いる共振器または回路網の製造のためのもの
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者:
多井 知義 TAI Tomoyoshi; JP
滑川 政彦 NAMERIKAWA Masahiko; JP
鵜野 雄大 UNO Yudai; JP
服部 良祐 HATTORI Ryosuke; JP
浅井 圭一郎 ASAI Keiichiro; JP
代理人:
細田 益稔 HOSODA Masutoshi; JP
青木 純雄 AOKI Sumio; JP
優先権情報:
2017-17747715.09.2017JP
発明の名称: (EN) ACOUSTIC WAVE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) DISPOSITIF À ONDES ACOUSTIQUES ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 弾性波素子およびその製造方法
要約:
(EN) [Problem] To improve a Q value of an acoustic wave device in which a piezoelectric material substrate is directly bonded on a support substrate composed of polycrystalline ceramics. [Solution] This acoustic wave device 10 comprises: a piezoelectric material substrate 1A; an intermediate layer 2 provided on the piezoelectric material substrate 1A, the intermediate layer 2 being made of at least one material selected from the group consisting of a silicon oxide, an aluminum nitride, and a sialon; a bonding layer 3 provided on the intermediate layer 2, the bonding layer 3 being made of at least one material selected from the group consisting of a tantalum pentoxide, a niobium pentoxide, a titanium oxide, a mullite, alumina, a high-resistance silicon, and a hafnium oxide; a support substrate 5 composed of polycrystalline ceramics and directly bonded to the bonding layer 3; and an electrode 9 provided on the piezoelectric material substrate 1A.
(FR) La présente invention a pour objet d'améliorer une valeur Q d'un dispositif à ondes acoustiques dans lequel un substrat de matériau piézoélectrique est directement soudé à un substrat de support composé de céramique polycristalline. Plus particulièrement, cette invention concerne un dispositif à ondes acoustiques (10), comprenant : un substrat de matériau piézoélectrique (1A); une couche intermédiaire (2) disposée sur le substrat de matériau piézoélectrique (1A), la couche intermédiaire (2) étant faite d'au moins un matériau choisi dans le groupe constitué par un oxyde de silicium, un nitrure d'aluminium et une céramique réfractaire de type sialon; une couche de liaison (3) disposée sur la couche intermédiaire (2), la couche de liaison (3) étant faite d'au moins un matériau choisi dans le groupe constitué par un pentoxyde de tantale, un pentoxyde de niobium, un oxyde de titane, de la mullite, de l'alumine, un silicium haute résistance et un oxyde de hafnium; un substrat de support (5) composé de céramique polycristalline et directement soudé à la couche de liaison (3); et une électrode (9) disposée sur le substrat de matériau piézoélectrique (1A).
(JA) 【課題】多結晶セラミックスからなる支持基板上に圧電性材料基板を直接接合したタイプの弾性波素子において、弾性波素子のQ値を向上させる。 【解決手段】弾性波素子10は、圧電性材料基板1A、圧電性材料基板1A上に設けられた中間層2であって、酸化珪素、窒化アルミニウムおよびサイアロンからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる中間層2、中間層2上に設けられた接合層3であって,五酸化タンタル、五酸化ニオブ、酸化チタン、ムライト、アルミナ、高抵抗シリコンおよび酸化ハフニウムからなる群より選ばれた一種以上の材質からなる接合層3、多結晶セラミックスからなり、接合層3に対して直接接合された支持基板5、および圧電性材料基板1A上に設けられた電極9を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)