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1. (WO2019054111) イオン源及びイオン注入装置並びにイオン源の運転方法
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国際公開番号: WO/2019/054111 国際出願番号: PCT/JP2018/030048
国際公開日: 21.03.2019 国際出願日: 10.08.2018
IPC:
H01J 27/04 (2006.01) ,H01J 37/08 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
27
イオンビーム管
02
イオン源;イオン銃
04
反射放電を利用するもの,例.ペニングイオン源
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
08
イオン源;イオン銃
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
東 明男 HIGASHI Akio; JP
佐々木 徳康 SASAKI Naruyasu; JP
寺澤 寿浩 TERASAWA Toshihiro; JP
代理人:
阿部 英樹 ABE Hideki; JP
石島 茂男 ISHIJIMA Shigeo; JP
優先権情報:
2017-17645114.09.2017JP
発明の名称: (EN) ION SOURCE, ION INJECTION DEVICE AND ION SOURCE OPERATION METHOD
(FR) SOURCE D’IONS, DISPOSITIF D’INJECTION D’IONS ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DE SOURCE D’IONS
(JA) イオン源及びイオン注入装置並びにイオン源の運転方法
要約:
(EN) The present invention provides a technique for suppressing an abnormal electric discharge inside an ion generation container from an ion source, which is caused by an insulation film originating from by-products when an ionization gas and an ion source material are reacted to generate ions. This ion source comprises: a vacuum chamber (10A) having a cooling mechanism; an ion generation container (11) provided inside the vacuum chamber (10A), wherein the ionization gas and the ion source material are reacted to generate the ions; an extraction electrode (15) provided inside the vacuum chamber (10A), for extracting the ions generated inside the ion generation container (11) to generate an ion beam; and a shielding member (30) provided on the inner side and in the vicinity of an inner wall (10d) of the vacuum chamber (10A), having a main body section (31) comprising an electric conductive metal for the purpose of blocking the adhesion of an insulating material onto the inner wall (10d) of the vacuum chamber (10A). Provided in the main body section (31) of the shielding member (30) are a plurality of protrusion-shaped support parts (32), which establish contact with the inner wall (10d) of the vacuum chamber (10A) to support the main body section (31) in such a manner that the mounting thereof onto the inner wall (10d) of the vacuum chamber (10A) establishes a gap therebetween.
(FR) La présente invention concerne une technique pour supprimer une décharge électrique anormale à l’intérieur d’un conteneur de génération d’ions à partir d’une source d’ions, qui est causée par un film d’isolation provenant de sous-produits lorsqu’un gaz d’ionisation et un matériau de source d’ions sont mis à réagir pour générer des ions. Cette source d’ions comprend : une chambre à vide (10A) ayant un mécanisme de refroidissement ; un conteneur de génération d’ions (11) disposé à l’intérieur de la chambre à vide (10A), le gaz d’ionisation et le matériau de source d’ions étant amené à réagir pour générer les ions ; une électrode d’extraction (15) disposée à l’intérieur de la chambre à vide (10A), pour extraire les ions générés à l’intérieur du conteneur de génération d’ions (11) pour générer un faisceau d’ions ; et un élément de blindage (30) disposé sur le côté interne et à proximité d’une paroi interne (10d) de la chambre à vide (10A), comportant une section de corps principal (31) comprenant un métal conducteur électrique dans le but de bloquer l’adhésion d’un matériau isolant sur la paroi interne (10d) de la chambre à vide (10A). Une pluralité de parties de support en forme de saillie (32) sont disposées dans la section de corps principal (31) de l’élément de protection (30), qui établissent un contact avec la paroi interne (10d) de la chambre à vide (10A) pour soutenir la section de corps principal (31) de telle manière que le montage de celle-ci sur la paroi interne (10d) de la chambre à vide (10A) établisse un espacement entre celles-ci.
(JA) 本発明は、イオン源のイオン生成容器内においてイオン化ガスとイオン原料を反応させてイオンを生成する際の副生成物による絶縁膜に起因する異常放電を抑制する技術を提供する。本発明のイオン源は、冷却機構を有する真空槽(10A)と、真空槽(10A)内に設けられ、イオン化ガスとイオン原料を反応させてイオンを生成するイオン生成容器(11)と、真空槽(10A)内に設けられ、イオン生成容器(11)内において生成されたイオンを引き出してイオンビームを生成する引出電極(15)と、真空槽(10A)の内壁(10d)の内側近傍に設けられ、当該真空槽(10A)の内壁(10d)に対する絶縁物の付着を遮るための導電性の金属からなる本体部(31)を有する遮蔽部材(30)とを備える。遮蔽部材(30)の本体部(31)に、真空槽(10A)の内壁(10d)に対して離間して装着されるように真空槽(10A)の内壁(10d)に接触して本体部(31)を支持する複数の突状の支持部(32)が設けられている。
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)