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1. (WO2019050659) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
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国際公開番号: WO/2019/050659 国際出願番号: PCT/US2018/046559
国際公開日: 14.03.2019 国際出願日: 13.08.2018
IPC:
G01C 19/5684 (2012.01) ,G01M 7/02 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
C
距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19
ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56
振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
567
振動の節または波腹の位相シフトを用いるもの
5677
本質的に2次元振動する振動体,例.環状に形成された振動体,に関するもの
5684
マイクロメカニカル構造を含む装置
G 物理学
01
測定;試験
M
機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
7
構造物の振動試験;構造物の衝撃試験
02
振動試験
出願人:
HRL LABORATORIES, LLC [US/US]; 3011 Malibu Canyon Road Malibu, California 90265-4799, US
発明者:
HUANG, Lian X.; US
SORENSON, Logan D.; US
CHANG, Chia-ming "Gavin"; US
PERAHIA, Raviv; US
NGUYEN, Hung; US
CHANG, David T.; US
代理人:
LUSINCHI, Laurent P.; US
優先権情報:
62/555,61707.09.2017US
発明の名称: (EN) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
(FR) CHARNIÈRE EN SILICIUM MEMS À FACTEUR DE QUALITÉ ÉLEVÉ ET RÉSONATEUR À FENTE COUPÉE POUR GYROSCOPE VIBRANT
要約:
(EN) A resonant structure comprising at least two coaxial rings, wherein adjacent coaxial rings have adjacent peripheries and are attached together by a plurality of connection structures regularly arranged along said adjacent peripheries; and wherein a first ring has a first ring portion with a first radial thickness and a second ring portion, in a vicinity of a first connection structure, with a second radial thickness smaller than said first radial thickness.
(FR) La présente invention concerne une structure résonante qui comprend au moins deux anneaux coaxiaux, des anneaux coaxiaux adjacents ayant des périphéries adjacentes et étant fixés conjointement par une pluralité de structures de raccordement agencées de façon régulière le long desdites périphéries adjacentes; et un premier anneau ayant une première partie annulaire avec une première épaisseur radiale et une deuxième partie annulaire, à proximité d'une première structure de raccordement, ayant une deuxième épaisseur radiale inférieure à ladite première épaisseur radiale.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)