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1. (WO2019050001) プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体
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国際公開番号: WO/2019/050001 国際出願番号: PCT/JP2018/033254
国際公開日: 14.03.2019 国際出願日: 07.09.2018
IPC:
G01R 31/28 (2006.01) ,G01R 31/26 (2014.01) ,G01R 27/06 (2006.01) ,G01R 35/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28
電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26
個々の半導体装置の試験
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
27
抵抗,リアクタンス,インピーダンスまたはそれらから派生する電気的特性を測定する装置
02
実数または複素抵抗,リアクタンス,インピーダンス,またはそれらから誘導される二端子特性,例.時定数,を測定するもの
04
分布定数回路におけるもの
06
反射係数の測定;定在波比の測定
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
35
このサブクラスの他のグループに包含される装置の試験または較正
出願人:
国立研究開発法人産業技術総合研究所 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 東京都千代田区霞が関1-3-1 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921, JP
発明者:
坂巻 亮 SAKAMAKI, Ryo; JP
堀部 雅弘 HORIBE, Masahiro; JP
代理人:
青木 篤 AOKI, Atsushi; JP
三橋 真二 MITSUHASHI, Shinji; JP
南山 知広 MINAMIYAMA, Chihiro; JP
伊坪 公一 ITSUBO, Koichi; JP
宮本 哲夫 MIYAMOTO, Tetsuo; JP
優先権情報:
2017-17192707.09.2017JP
2018-01434931.01.2018JP
発明の名称: (EN) METHOD FRO DETERMINING ANGLE OF PROBE, HIGH-FREQUENCY CHARACTERISTIC INSPECTING DEVICE, PROGRAM AND STORAGE MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'ANGLE DE SONDE, DISPOSITIF D'INSPECTION DE CARACTÉRISTIQUE HAUTE FRÉQUENCE, PROGRAMME ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体
要約:
(EN) This method includes, while varying a probe angle relative to a flat electrical conductor surface of a substrate which includes said electrical conductor surface and which is placed on a placement surface of a stage of a high-frequency characteristic inspecting device, to thereby vary a state of contact between a tip end of a signal terminal and a tip end of a ground terminal on the one hand and the electrical conductor surface on the other hand: at different probe angles, obtaining an S parameter by outputting a high-frequency signal from the signal terminal to the electrical conductor surface and receiving a reflected signal using the probe; and, on the basis of a plurality of S parameters, determining a reference probe angle at which the electrical conductor surface is parallel to a reference line formed by joining the tip end of the signal terminal and the tip end of the ground terminal.
(FR) L'invention concerne un procédé qui comprend les étapes consistant à, tout en faisant varier un angle de sonde par rapport à une surface conductrice électrique plate d'un substrat qui comprend ladite surface conductrice électrique et qui est placé sur une surface de placement d'un étage d'un dispositif d'inspection de caractéristique haute fréquence, pour ainsi faire varier un état de contact entre une extrémité de pointe d'une borne de signal et une extrémité de pointe d'une borne de masse d'une part et la surface conductrice électrique d'autre part : selon différents angles de sonde, obtenir un paramètre S par émission d'un signal haute fréquence à partir de la borne de signal vers la surface conductrice électrique et recevoir un signal réfléchi à l'aide de la sonde ; et, sur la base d'une pluralité de paramètres S, déterminer un angle de sonde de référence auquel la surface conductrice électrique est parallèle à une ligne de référence formée en joignant l'extrémité de pointe de la borne de signal et l'extrémité de pointe de la borne de masse.
(JA) 方法は、高周波特性検査装置のステージの載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の導電体面と、プローブ角度を変化させることにより、シグナル端子の先端及びグランド端子の先端と導電体面との接触状態を変化させながら、異なるプローブ角度において、シグナル端子から高周波信号を導電体面に出力し且つプローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、複数のSパラメータに基づいて、シグナル端子の先端とグランド端子の先端とを結んで形成される基準線と導電体面とが平行となる基準プローブ角度を決定すること、を含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)