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1. (WO2019049770) 薬液収容体
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国際公開番号: WO/2019/049770 国際出願番号: PCT/JP2018/032173
国際公開日: 14.03.2019 国際出願日: 30.08.2018
IPC:
C03C 23/00 (2006.01) ,B65D 23/02 (2006.01) ,C03C 17/245 (2006.01)
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
23
繊維やフィラメントの形態をとらない繊維以外のガラスのその他の表面処理
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D
物品または材料の保管または輸送用の容器,例.袋,樽,瓶,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,つぼ,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉蓋具,またはその取付け;包装要素;包装体
23
他に分類されないびんまたは広口びんの細部
02
ライニングまたは内部コーテング
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
17
繊維やフィラメントの形態をとらないガラス,例.結晶化ガラス,の被覆による表面処理
22
他の無機物によるもの
23
酸化物
245
蒸気相からの析出によるもの
出願人:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
発明者:
上村 哲也 KAMIMURA Tetsuya; JP
吉留 正洋 YOSHIDOME Masahiro; JP
河田 幸寿 KAWADA Yukihisa; JP
代理人:
渡辺 望稔 WATANABE Mochitoshi; JP
伊東 秀明 ITOH Hideaki; JP
三橋 史生 MITSUHASHI Fumio; JP
優先権情報:
2017-17083206.09.2017JP
2018-15519622.08.2018JP
発明の名称: (EN) CHEMICAL SOLUTION ACCOMMODATING BODY
(FR) CORPS CONTENANT UNE SOLUTION CHIMIQUE
(JA) 薬液収容体
要約:
(EN) The present invention addresses the problem of providing a chemical solution accommodating body in which, when an accommodated chemical solution is used after storage for a fixed period of time, in a wiring formation step that includes photolithography, shortcircuits as well as defects are less likely to occur in the wiring substrate that is formed. This chemical solution accommodating body comprises a container and a chemical solution that is accommodated in the container. The chemical solution contains at least one type of specific metal component selected from a group consisting of Fe, Al, Cr and Ni. The content amount of the specific metal component in the chemical solution is 100 mass ppt or less per the total mass of the chemical solution. At least a portion of a solution contact part of the container comprises glass containing sodium atoms, and in at least a portion of the solution contact part, a content mass ratio A/B of a content amount A of sodium atoms in a surface region with respect to the total mass of the surface region, to a content amount B of sodium atoms in a bulk region with respect to the total mass of the bulk region, is greater than 0.10 and less than 1.0.
(FR) La présente invention a pour objet un corps contenant une solution chimique avec lequel, lorsqu'une solution chimique contenue est utilisée après stockage pendant une durée donnée, dans une étape de formation de câblage qui comprend une photolithographie, des courts-circuits ainsi que des défauts sont moins susceptibles de se produire dans le substrat de câblage qui est formé. À cet effet l'invention porte sur un corps contenant une solution chimique, comprenant un récipient et une solution chimique qui est contenue dans le récipient. La solution chimique contient au moins un type de constituant métallique particulier choisi dans un groupe constitué par Fe, Al, Cr et Ni. La teneur du constituant métallique particulier dans la solution chimique est inférieure ou égale à 100 ppt en masse par rapport à la masse totale de la solution chimique. Au moins une partie d'une partie du récipient en contact avec la solution comprend du verre contenant des atomes de sodium et dans au moins une partie de la partie en contact avec la solution, un rapport massique de teneurs A/B d'une teneur A d'atomes de sodium dans une zone de surface par rapport à la masse totale de la zone de surface à une teneur B d'atomes de sodium dans une zone massive par rapport à la masse totale de la zone massive est supérieur à 0,10 et inférieur à 1,0.
(JA) 本発明は、一定期間保管後に、収納された薬液をフォトリソグラフィを含む配線形成工程に適用したとき、形成される配線基板においてショートが発生しにくく、かつ、欠陥が発生しにくい薬液収容体の提供を課題とする。本発明の薬液収容体は、容器と、容器に収容された薬液とを有する薬液収容体であって、薬液は、Fe、Al、Cr、及び、Niからなる群から選択される少なくとも1種の特定金属成分を含有し、薬液中における特定金属成分の含有量が、薬液の全質量に対して100質量ppt以下であり、容器の接液部の少なくとも一部が、ナトリウム原子を含有するガラスからなり、接液部の少なくとも一部において、バルク領域における、バルク領域の全質量に対するナトリウム原子の含有量B、に対する、表面領域における、表面領域の全質量に対するナトリウム原子の含有量A、の含有質量比A/Bが、0.10を超え、1.0未満である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)