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1. (WO2019049518) 保管システムと保管システムでのパージ方法
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国際公開番号: WO/2019/049518 国際出願番号: PCT/JP2018/027043
国際公開日: 14.03.2019 国際出願日: 19.07.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B65G 1/00 (2006.01) ,B65G 1/137 (2006.01) ,H01L 21/673 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
1
倉庫またはマガジン内における,物品の個々にまたは秩序だった貯蔵
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
1
倉庫またはマガジン内における,物品の個々にまたは秩序だった貯蔵
02
貯蔵装置
04
機械的なもの
137
取出す物品を選択するための装置または自動制御手段をもつもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
出願人:
村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 京都府京都市南区吉祥院南落合町3番地 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326, JP
発明者:
椿 達雄 TSUBAKI Tatsuo; JP
山路 孝 YAMAJI Takashi; JP
代理人:
塩入 明 SHIOIRI Akira; JP
塩入 みか SHIOIRI Mika; JP
優先権情報:
2017-17288808.09.2017JP
発明の名称: (EN) STORAGE SYSTEM AND PURGE METHOD IN STORAGE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE STOCKAGE ET PROCÉDÉ DE PURGE DANS UN SYSTÈME DE STOCKAGE
(JA) 保管システムと保管システムでのパージ方法
要約:
(EN) A storage system according to the present invention is provided with: a plurality of shelves each provided with a nozzle for supplying a clean gas; a plurality of flow-volume control parts for controlling the supply volume of the clean gas; a transport device for delivering/receiving containers to/from the shelves; and a controller for controlling the transport device and the flow-volume control parts. By means of the controller, before the occurrence of a container scheduled to be stored, at least one shelf is preliminarily reserved in preparation for storing the container, and a clean gas is supplied from the flow-volume control part to the nozzle of the at least one shelf on the basis of the result of this reservation.
(FR) Un système de stockage selon la présente invention comprend : une pluralité d'étagères comportant chacune une buse permettant de fournir un gaz propre ; une pluralité de parties de commande de débit-volume permettant de commander le volume de distribution du gaz propre ; un dispositif de transport permettant de distribuer/recevoir des contenants vers/à partir des étagères ; et un dispositif de commande permettant de commander le dispositif de transport et les parties de commande de débit-volume. Au moyen du dispositif de commande, avant l'apparition d'un contenant programmé devant être stocké, au moins une étagère est préalablement réservée dans la préparation pour stocker le contenant, et un gaz propre est distribué de la partie de commande de débit-volume à la buse de ladite étagère sur la base du résultat de cette réservation.
(JA) 保管システムは、クリーンガスを供給するノズルが設けられた複数の棚と、クリーンガスの供給量を制御する複数の流量制御部と、棚に容器を搬出入する搬送装置と、搬送装置と流量制御部とを制御するコントローラとを備えている。コントローラにより、保管予定の容器の発生前に、容器の保管に備えて少なくとも1個の棚を予め引き当てると共に、この引き当て結果に基づいて、流量制御部から少なくとも1個の棚のノズルへクリーンガスを供給する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)