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1. (WO2019048202) GAS SENSOR FOR MEASURING A CONCENTRATION OF AN ANALYSIS GAS
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Ansprüche

1 . Gassensor (1 ) zum Messen einer Konzentration eines Analysegases

basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer ersten Membran (2) angeordneten Analyseheizelement zum Erwärmen des Analysegases, mit einem auf einer zweiten Membran (4) angeordneten Referenzheizelement zum Erwärmen eines Referenzgases, mit mindestens einer Auswerteelektronik (28) zum Messen einer durch das Analysegas verursachten Widerstandsänderung des Analyseheizelementes relativ zu einem elektrischen Widerstand des Referenzheizelementes, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Membran (2) und die zweite Membran (4) zueinander benachbart in einem Sensorsubstrat (6) angeordnet sind, wobei durch ein einseitig an dem Sensorsubstrat (6) angeordnetes Sockelsubstrat (8) zwischen der ersten Membran (2) und dem Sockelsubstrat (8) ein

Messvolumen (12) und zwischen der zweiten Membran (4) und dem

Sockelsubstrat (8) ein Referenzvolumen (16) bildbar ist, wobei das

Referenzvolumen (16) über eine Öffnung (18) in der zweiten Membran (4) mit einer benachbarten Umgebung fluidleitend verbunden ist.

2. Gassensor nach Anspruch 1 , wobei das Messvolumen (12) und/oder das Referenzvolumen (16) zumindest bereichsweise innerhalb des

Sensorsubstrats (6) und/oder zumindest teilweise innerhalb des

Sockelsubstrates (8) gebildet ist.

3. Gassensor nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Referenzvolumen (16) ein offenes oder ein geschlossenes Volumen ist.

4. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Analysegas durch mindestens eine Öffnung (14) im Sockelsubstrat (8) in das Messvolumen (12) einbringbar ist.

5. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei mindestens ein

Heizelement (24) in oder auf das Sockelsubstrat (8) aufbringbar ist.

6. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei mindestens ein Gasfilter (26) in dem Messvolumen (12) angeordnet ist.

7. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei mindestens ein

Gasfilter (26) einseitig auf dem Sockelsubstrat (8) angeordnet ist.

8. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Sockelsubstrat (8) über ein Fügemittel (10) mit dem Sensorsubstrat (6) verbindbar ist

9. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Sockelsubstrat (8) einseitig eine Fügefläche zum Aufnehmen einer Klebung oder eines

Dichtmittels (22) aufweist.

10. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei auf einer dem

Sockelsubstrat (8) gegenüberliegenden Seite des Sensorsubstrats (6) ein Kappensubstrat (20) angeordnet ist.

1 1 . Gassensor nach Anspruch 10, wobei zumindest ein Teil der

Auswerteelektronik (28) auf oder in dem Kappensubstrat (20) angeordnet ist.

12. Gassensor nach Anspruch 10 oder 1 1 , wobei das Kappensubstrat (20)

mindestens eine Verbindungsöffnung zum Referenzvolumen (18) aufweist.