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1. (WO2019048202) GAS SENSOR FOR MEASURING A CONCENTRATION OF AN ANALYSIS GAS
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国際公開番号: WO/2019/048202 国際出願番号: PCT/EP2018/072171
国際公開日: 14.03.2019 国際出願日: 16.08.2018
IPC:
G01N 27/18 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
02
インピーダンスの調査によるもの
04
抵抗の調査によるもの
14
温度変化による電気的に加熱された物体の
18
雰囲気形成試料の熱伝導度の変化により生じさせた場合の
出願人:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
発明者:
MUELLER, Renate; DE
FREY, Tobias Sebastian; DE
優先権情報:
10 2017 215 527.205.09.2017DE
発明の名称: (DE) GASSENSOR ZUM MESSEN EINER KONZENTRATION EINES ANALYSEGASES
(EN) GAS SENSOR FOR MEASURING A CONCENTRATION OF AN ANALYSIS GAS
(FR) CAPTEUR DE GAZ POUR MESURER UNE CONCENTRATION DE GAZ D'ANALYSE
要約:
(DE) Offenbart ist ein Gassensor zum Messen einer Konzentration eines Analysegases basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer ersten Membran angeordneten Analyseheizelement zum Erwärmen des Analysegases, mit einem auf einer zweiten Membran angeordneten Referenzheizelement zum Erwärmen eines Referenzgases, mit mindestens einer Auswerteelektronik zum Messen einer durch das Analysegas verursachten Widerstandsänderung des Analyseheizelementes relativ zu einem elektrischen Widerstand des Referenzheizelementes, wobei die erste Membran und die zweite Membran zueinander benachbart in einem Sensorsubstrat angeordnet sind und wobei durch ein einseitig an dem Sensorsubstrat angeordnetes Sockelsubstrat zwischen der ersten Membran und dem Sockelsubstrat ein Messvolumen und zwischen der zweiten Membran und dem Sockelsubstrat ein Referenzvolumen bildbar ist.
(EN) The invention relates to a gas sensor for measuring a concentration of an analysis gas based on a thermal conductivity principle, comprising at least one analysis heating element arranged on a first membrane for heating the analysis gas, a reference heating element arranged on a second membrane for heating a reference gas, and at least one evaluation electronics system for measuring a change in resistance of the analysis heating element relative to an electrical resistance of the reference heating element caused by the analysis gas, wherein the first membrane and the second membrane are arranged next to one another in a sensor substrate and wherein, by means of base substrate arranged on one side of the sensor substrate, a measuring volume can be formed between the first membrane and the base substrate and a reference volume can be formed between the second membrane and the base substrate.
(FR) La présente invention concerne un capteur de gaz pour mesurer une concentration de gaz d'analyse basé sur un principe de conductivité thermique, ayant au moins un élément thermique d'analyse disposé sur une première membrane pour chauffer le gaz d'analyse, un élément thermique de référence disposé sur une seconde membrane, au moins un circuit électronique d'évaluation pour mesurer une modification de résistance de l'élément thermique d'analyse provoquée par le gaz d'analyse par rapport à une résistance électrique de l'élément thermique de référence, la première membrane et la seconde membrane étant situées dans un substrat de capteur de manière adjacente l'une à l'autre et, à l'aide d'un substrat socle situé d'un côté sur le substrat de capteur entre la première membrane et le substrat socle, un volume de mesure et, entre la seconde membrane et le substrat socle, un volume de référence peut se former.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: ドイツ語 (DE)
国際出願言語: ドイツ語 (DE)