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1. (WO2019045755) METAL INTERCONNECTS, DEVICES, AND METHODS
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国際公開番号: WO/2019/045755 国際出願番号: PCT/US2017/049938
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 01.09.2017
IPC:
H01L 21/768 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
70
1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品または集積回路からなる装置またはその特定部品の製造または処理;集積回路装置またはその特定部品の製造
71
グループ21/70で限定された装置の特定部品の製造
768
装置内の別個の構成部品間に電流を流すため使用する相互接続を適用するもの
出願人:
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054, US
発明者:
ZIERATH, Daniel; US
MUKHERJEE, Srijit; US
FARMER, Jason; US
GANPULE, Chandan; US
LIN, Julia; US
代理人:
GRIFFIN, Malvern, U. III; US
CHAN, Christopher J.; US
ZOGAIB, Nash M.; US
BRANSON, Joshua W.; US
SEEGER, Richard A.; US
ARONSON, Joshua B.; US
優先権情報:
発明の名称: (EN) METAL INTERCONNECTS, DEVICES, AND METHODS
(FR) INTERCONNEXIONS MÉTALLIQUES, DISPOSITIFS ET PROCÉDÉS
要約:
(EN) Provided herein are metal interconnects that may include a cobalt alloy, a nickel alloy, or nickel. Also provided herein are methods of making metal interconnects. The metal interconnects may include a barrier and/or adhesion layer, a seed layer, a fill material, a cap, or a combination thereof, and at least one of the barrier and/or adhesion layer, the seed layer, the fill material, or the cap may include a cobalt alloy, a nickel alloy, nickel, or a combination thereof.
(FR) La présente invention concerne des interconnexions métalliques qui peuvent comprendre un alliage de cobalt, un alliage de nickel ou du nickel. L'invention concerne également des procédés de réalisation d'interconnexions métalliques. Les interconnexions métalliques peuvent comprendre une couche de barrière et/ou d'adhérence, une couche de germe, un matériau de remplissage, un capuchon, ou une combinaison de ceux-ci, et au moins l'une de la couche de barrière et/ou d'adhérence, la couche de germe, le matériau de remplissage, ou le capuchon peut comprendre un alliage de cobalt, un alliage de nickel, du nickel ou une combinaison de ceux-ci.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)