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1. (WO2019045340) SUBSTRATE PLACING MEANS AND SUBSTRATE TREATING DEVICE
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国際公開番号: WO/2019/045340 国際出願番号: PCT/KR2018/009507
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 20.08.2018
IPC:
H01L 21/687 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
687
機械的手段を使用するもの,例.チャック,クランプ,またはピンチ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
주성엔지니어링(주) JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. [KR/KR]; 경기도 광주시 오포읍 오포로 240 240, Opo-ro, Opo-eup Gwangju-si Gyeonggi-do 12773, KR
発明者:
김종식 KIM, Jong Sik; KR
신현욱 SHIN, Hyun Wook; KR
이수연 LEE, Su Yeon; KR
代理人:
특허법인 천문 ASTRAN INT'L IP GROUP; 서울시 강남구 역삼로 233, 5층 (역삼동, 신성빌딩) (ShinSung Building, Yeoksam-dong) 5th Floor, 233, Yeoksam-ro, Gangnam-gu Seoul 06225, KR
優先権情報:
10-2017-011038030.08.2017KR
10-2018-005266508.05.2018KR
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PLACING MEANS AND SUBSTRATE TREATING DEVICE
(FR) MOYEN DE PLACEMENT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(KO) 기판안치수단 및 기판처리장치
要約:
(EN) The present invention relates to a substrate placing means and a substrate treating device, the substrate placing means comprising: a disk; and a plurality of substrate placing units radially disposed around the center of the disk, and having substrates respectively placed therein, wherein upper surfaces of the substrate placing units protrude further upwardly than an upper surface of the disk.
(FR) La présente invention concerne un moyen de placement de substrat et un dispositif de traitement de substrat, le moyen de placement de substrat comprenant : un disque ; et une pluralité d'unités de placement de substrat disposées radialement autour du centre du disque, et ayant des substrats respectivement placés à l'intérieur, les surfaces supérieures des unités de placement de substrat faisant saillie davantage vers le haut qu'une surface supérieure du disque.
(KO) 본 발명은 기판처리장치의 기판안치수단으로서, 디스크; 및 상기 디스크의 중심에서 방사상으로 배치되며, 기판이 각각 안치되는 복수개의 기판안치부를 포함하되, 상기 기판안치부의 상면은 상기 디스크의 상면보다 상측으로 더 돌출된 기판안치수단 및 기판처리장치에 관한 것이다.
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 韓国語 (KO)
国際出願言語: 韓国語 (KO)