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1. (WO2019045204) BOAT DEVICE
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国際公開番号: WO/2019/045204 国際出願番号: PCT/KR2018/001323
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 31.01.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 31/18 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
18
これらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人:
HANWHA CORPORATION [KR/KR]; 86, Cheonggyecheon-ro Jung-gu Seoul 04541, KR
発明者:
LEE, Hyun Ho; KR
KIM, Young Gi; KR
PARK, Sang Tae; KR
代理人:
TW INTERNATIONAL PATENT AND LAWFIRM; 13F 114, Yeoksam-ro Gangnam-gu Seoul 06252, KR
優先権情報:
10-2017-011203901.09.2017KR
発明の名称: (EN) BOAT DEVICE
(FR) HYDROGLISSEUR
要約:
(EN) The present invention discloses a boat device, comprising: a plate portion including mutually adjacent first and second plates, where a wafer is attached and detached in an empty gap between each plate; and a pin provided at each plate to support an outside of the wafer; wherein the pin is provided with at least three pins including a first pin, a second pin and a third pin relative to one wafer.
(FR) La présente invention concerne un hydroglisseur, comprenant : une partie plaque comprenant des première et seconde plaques mutuellement adjacentes, une tranche étant fixée et détachée dans un espace vide entre chaque plaque ; et une broche disposée au niveau de chaque plaque pour supporter un extérieur de la tranche ; la broche comprenant au moins trois broches comprenant une première broche, une seconde broche et une troisième broche par rapport à une tranche.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)