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1. (WO2019044819) 対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法
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国際公開番号: WO/2019/044819 国際出願番号: PCT/JP2018/031744
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 28.08.2018
IPC:
H01L 21/60 (2006.01) ,H01L 21/52 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01) ,H05K 13/04 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60
動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52
容器中への半導体本体のマウント
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
13
電気部品の組立体の製造または調整に特に適した装置または方法
04
部品の取り付け
出願人:
株式会社新川 SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の1 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585, JP
発明者:
瀬山 耕平 SEYAMA, Kohei; JP
歌野 哲弥 UTANO, Tetsuya; JP
野口 勇一郎 NOGUCHI, Yuichiro; JP
代理人:
特許業務法人YKI国際特許事務所 YKI INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 東京都武蔵野市吉祥寺本町一丁目34番12号 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004, JP
優先権情報:
2017-16292828.08.2017JP
発明の名称: (EN) DEVICE AND METHOD FOR LINEARLY MOVING MOVABLE BODY RELATIVE TO OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT LINÉAIRE D'UN CORPS MOBILE PAR RAPPORT À UN OBJET
(JA) 対象物に対して移動体を直線移動させる装置および方法
要約:
(EN) The present invention is provided with: a base (10) which moves linearly relative to a substrate (16) and has a first position and a second position that are spaced apart from each other by a predetermined interval in the movement direction; a linear scale (33) in which a plurality of markings having a predetermined pitch are provided along the movement direction; encoder heads (31, 32) which respectively are disposed at the first and second positions of the base (10) and detect first and second marking numbers B1(n) and B2(n) of the linear scale (33) with respect to the first and second positions, wherein, as the base (10) is moved along the linear scale (33), the first and second marking numbers B1(n) and B2(n) are detected in this order in the respective encoder heads (31, 32), and the movement amount of the base (10) is controlled on the basis of the ratio between the predetermined interval and the distance A(n) between the first marking number B1(n) and the second marking number B2(n) on the scale.
(FR) Un dispositif selon la présente invention comprend : une base (10) qui se déplace linéairement par rapport à un substrat (16) et a une première position et une seconde position qui sont espacées l'une de l'autre d'un intervalle prédéterminé dans la direction de déplacement ; une échelle linéaire (33) dans laquelle une pluralité de repères ayant un pas prédéterminé sont disposés le long de la direction de déplacement ; des têtes de codeur (31, 32) qui sont respectivement disposées aux première et seconde positions de la base (10) et détectent des premier et second chiffres de repérage B1(n) et B2(n) de l'échelle linéaire (33) par rapport aux première et seconde positions. Au fur et à mesure que la base (10) est déplacée le long de l'échelle linéaire (33), les premier et second chiffres de repérage B1(n) et B2(n) sont détectés dans cet ordre dans les têtes de codeur respectives (31, 32), et la grandeur de déplacement de la base (10) est contrôlée sur la base du rapport entre l'intervalle prédéterminé et la distance A(n) entre le premier chiffre de repérage B1(n) et le second chiffre de repérage B2(n) sur l'échelle.
(JA) 基板(16)に対して直線移動し、移動方向に所定間隔aを空けた第1位置と第2位置とを有するベース(10)と、移動方向に沿って所定ピッチで複数の目盛が設けられたリニアスケール(33)と、ベース(10)の第1、第2位置に配置され、第1、第2位置に対するリニアスケール(33)の第1、第2目盛番号B1(n)、B2(n)を検出する各エンコーダヘッド(31,32)と、を備え、ベース(10)をリニアスケール(33)に沿って移動させながら、逐次、各エンコーダヘッド(31,32)で第1、第2目盛番号B1(n)、B2(n)を検出し、所定間隔aと第1目盛番号B1(n)と第2目盛番号B2(n)との間のスケール上の距離A(n)との比率に基づいて、ベース(10)の移動量を制御する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)