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1. (WO2019044817) ネガ型感光性樹脂組成物、半導体装置および電子機器
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国際公開番号: WO/2019/044817 国際出願番号: PCT/JP2018/031738
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 28.08.2018
IPC:
G03F 7/038 (2006.01) ,G03F 7/004 (2006.01) ,G03F 7/075 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
038
不溶性又は特異的に親水性になる高分子化合物
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
04
クロム酸塩
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
075
シリコン含有化合物
出願人:
住友ベークライト株式会社 SUMITOMO BAKELITE CO., LTD. [JP/JP]; 東京都品川区東品川2丁目5番8号 5-8, Higashi-shinagawa 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1400002, JP
発明者:
鈴木 咲子 SUZUKI, Sakiko; JP
山川 雄大 YAMAKAWA, Yuta; JP
高橋 泰典 TAKAHASHI, Yasunori; JP
代理人:
朝比 一夫 ASAHI, Kazuo; JP
増田 達哉 MASUDA, Tatsuya; JP
優先権情報:
2017-16370428.08.2017JP
発明の名称: (EN) NEGATIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, SEMICONDUCTOR DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE NÉGATIVE, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) ネガ型感光性樹脂組成物、半導体装置および電子機器
要約:
(EN) This negative photosensitive resin composition contains a thermosetting resin, a photopolymerization initiator and a coupling agent which contains an acid anhydride as a functional group. It is preferable that the thermosetting resin contains a polyfunctional epoxy resin. It is also preferable that the content of the polyfunctional epoxy resin is 40-80% by mass relative to the nonvolatile components of the negative photosensitive resin composition. It is also preferable that the coupling agent is a compound containing an alkoxysilyl group, which comprises succinic acid anhydride as a functional group.
(FR) La présente invention concerne une composition de résine photosensible négative qui contient une résine thermodurcissable, un amorceur de photopolymérisation et un agent de couplage qui contient un anhydride d'acide en tant que groupe fonctionnel. Il est préférable que la résine thermodurcissable contienne une résine époxyde polyfonctionnelle. Il est également préférable que la teneur de la résine époxyde polyfonctionnelle soit de 40% à 80% en masse par rapport aux composants non volatils de la composition de résine photosensible négative. Il est également préférable que l'agent de couplage soit un composé contenant un groupe alcoxysilyle, qui comprend de l'anhydride d'acide succinique en tant que groupe fonctionnel.
(JA) 本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂と、光重合開始剤と、官能基として酸無水物を含有するカップリング剤と、を含む。このうち、熱硬化性樹脂は、多官能エポキシ樹脂を含んでいることが好ましい。また、多官能エポキシ樹脂の含有量は、ネガ型感光性樹脂組成物の不揮発成分に対して40~80質量%であることが好ましい。また、カップリング剤は、官能基としてコハク酸無水物を有する、アルコキシシリル基を含む化合物であることが好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)