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1. (WO2019044816) 対象物に対して第1移動体及び第2移動体を直線移動させる装置及び方法
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国際公開番号: WO/2019/044816 国際出願番号: PCT/JP2018/031737
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 28.08.2018
IPC:
H01L 21/60 (2006.01) ,H01L 21/52 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H05K 13/04 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60
動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52
容器中への半導体本体のマウント
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
13
電気部品の組立体の製造または調整に特に適した装置または方法
04
部品の取り付け
出願人:
株式会社新川 SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の1 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585, JP
発明者:
瀬山 耕平 SEYAMA, Kohei; JP
歌野 哲弥 UTANO, Tetsuya; JP
野口 勇一郎 NOGUCHI, Yuichiro; JP
代理人:
特許業務法人YKI国際特許事務所 YKI INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 東京都武蔵野市吉祥寺本町一丁目34番12号 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004, JP
優先権情報:
2017-16311028.08.2017JP
発明の名称: (EN) DEVICE AND METHOD FOR LINEARLY MOVING FIRST AND SECOND MOVING BODIES RELATIVE TO TARGET OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT LINÉAIRE D'UN PREMIER ET D'UN SECOND CORPS MOBILE PAR RAPPORT À UN OBJET CIBLE
(JA) 対象物に対して第1移動体及び第2移動体を直線移動させる装置及び方法
要約:
(EN) The present invention is provided with: first and second bases (10, 20), which are guided by a guide rail to thereby linearly move; a linear scale (33) provided with scales (34) at predetermined pitches in the moving direction; and first and second encoder heads (17, 27) attached to the first and second bases (10, 20). In the present invention, while maintaining, at a predetermined distance a, a distance between the first and second encoder heads (17, 27), and moving the first and second bases (10, 20) along the guide rail, first and second scale numbers B1(n), B2(n), at which the first and second encoder heads (17, 27) are positioned, are sequentially detected from the first and second encoder heads (17, 27), and the amount of movement of the first and second bases (10, 20) is controlled on the basis of the ratio between the predetermined gap a and the distance A(n) on the scale between the first scale numbers B1(n) and the second scale numbers B2(n).
(FR) Un dispositif selon la présente invention comprend : des première et seconde bases (10, 20), qui sont guidées par un rail de guidage de sorte à se déplacer linéairement ; une échelle linéaire (33) comportant des graduations (34) à des pas prédéterminés dans la direction de déplacement ; et des première et seconde têtes de codeur (17, 27) fixées aux première et seconde bases (10, 20). Selon la présente invention, lorsqu'une distance entre les première et seconde têtes de codeur (17, 27) est maintenue à une distance prédéterminée, et les première et seconde bases (10, 20) sont déplacées le long du rail de guidage, des premier et second chiffres de graduation B1(n), B2(n), sur lesquels les première et seconde têtes de codeur (17, 27) sont positionnés, sont séquentiellement détectés à partir des première et seconde têtes de codeur (17, 27), et la grandeur de déplacement des première et seconde bases (10, 20) est contrôlée sur la base du rapport entre l'espace prédéterminé (a) et la distance A(n) sur l'échelle entre les premiers chiffres de graduation B1(n) et les seconds chiffres de graduation B2(n).
(JA) ガイドレールにガイドされて直線移動する第1、第2ベース(10、20)と、移動方向に沿って所定ピッチで目盛(34)が設けられたリニアスケール(33)と、第1、第2ベース(10、20)に取り付けられる第1、第2エンコーダヘッド(17、27)と、第1、第2エンコーダヘッド(17、27)の間隔を所定間隔aに保持して第1、第2ベース(10、20)をガイドレールに沿って移動させながら、逐次、第1、第2エンコーダヘッド(17、27)で第1、第2エンコーダヘッド(17、27)が位置する第1、第2目盛番号B1(n)、B2(n)を検出し、所定間隔aと第1目盛番号B1(n)と第2目盛番号B2(n)との間のスケール上の距離A(n)との比率に基づいて、第1、第2ベース(10、20)の移動量を制御する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)