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1. (WO2019044696) 角速度センサおよびセンサ素子
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国際公開番号: WO/2019/044696 国際出願番号: PCT/JP2018/031349
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 24.08.2018
IPC:
G01C 19/5621 (2012.01) ,H01L 41/09 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
C
距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19
ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56
振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
5607
振動状態の音叉を用いるもの
5621
マイクロメカニカル構造を含む装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41
圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08
圧電または電歪素子
09
電気的入力および機械的出力をもつもの
出願人:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
発明者:
副島 宗高 SOEJIMA, Munetaka; JP
代理人:
飯島 康弘 IIJIMA, YASUHIRO; 東京都港区西新橋3丁目4番2号 SSビル2階 創進国際特許事務所 Sohshin International Patent Office, SS building 2F, 4-2, Nishi-Shinbashi 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
優先権情報:
2017-16431829.08.2017JP
発明の名称: (EN) ANGULAR VELOCITY SENSOR AND SENSOR ELEMENT
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE ET ÉLÉMENT DE CAPTEUR
(JA) 角速度センサおよびセンサ素子
要約:
(EN) According to the present invention, a pair of mounting arms in an angular velocity sensor are space apart from each other in the x-axis direction of an xyz-orthogonal coordinate system. A frame comprises: a main part which extends along the x-axis; and a pair of extension parts which connect both ends of the main part and inner-sides of the pair of the mounting arms, at least a portion of the extension parts extending in a direction crossing the x-axis when viewed in the z-axis direction. A pair of driving arms extend in the y-axis direction in parallel with each other from positions spaced apart from each other along the x-axis direction on the main part. A detection arm extends in the y-axis direction from a position which on the main part is between the pair of driving arms in the x-axis direction. A driving circuit applies voltages of opposite phases to the pair of driving arms so that the pair of driving arms bend and vibrate in opposite directions in the x-axis direction. A detection circuit detects a signal which is generated due to bending deformation of the detection arm in the z-axis direction.
(FR) Selon la présente invention, une paire de bras de montage dans un capteur de vitesse angulaire sont espacés l'un de l'autre dans la direction de l'axe x d'un système de coordonnées orthogonales xyz. Un cadre comprend : une partie principale qui s'étend le long de l'axe x ; et une paire de parties d'extension qui relient les deux extrémités de la partie principale et les côtés intérieurs de la paire de bras de montage, au moins une partie des parties d'extension s'étendant dans une direction croisant l'axe x lorsqu'elle est vue dans la direction de l'axe z. Une paire de bras d'entraînement s'étendent dans la direction de l'axe y en parallèle l'un par rapport à l'autre depuis des positions espacées l'une de l'autre le long de la direction de l'axe x sur la partie principale. Un bras de détection s'étend dans la direction de l'axe y depuis une position qui, sur la partie principale, se trouve entre la paire de bras d'entraînement dans la direction de l'axe x. Un circuit d'attaque applique des tensions de phases opposées à la paire de bras d'entraînement de telle sorte que la paire de bras d'entraînement fléchissent et vibrent dans des directions opposées dans la direction de l'axe x. Un circuit de détection détecte un signal généré en raison de la déformation par flexion du bras de détection dans la direction de l'axe z.
(JA) 角速度センサにおいて、1対の実装腕は、直交座標系xyzのx軸方向において互いに離れている。フレームは、x軸に沿って延びている主部と、z軸方向に見て、主部の両端と1対の実装腕の内側とを接続しており、少なくとも一部がx軸に交差する方向に延びている1対の延長部とを含んでいる。1対の駆動腕は、x軸方向に互いに離れた位置にて主部からy軸方向に互いに並列に延びている。検出腕は、x軸方向にて1対の駆動腕の間となる位置において主部からy軸方向に延びている。駆動回路は、1対の駆動腕がx軸方向において互いに逆側へ曲がって振動するように1対の駆動腕に互いに逆の位相の電圧を印加する。検出回路は、検出腕のz軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)