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1. (WO2019044601) タングステン酸化物の処理方法及び六フッ化タングステンの製造方法
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国際公開番号: WO/2019/044601 国際出願番号: PCT/JP2018/030913
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 22.08.2018
IPC:
C01G 41/04 (2006.01) ,H01L 21/302 (2006.01)
C 化学;冶金
01
無機化学
G
サブクラスC01DまたはC01Fに包含されない金属を含有する化合物
41
タングステン化合物
04
ハロゲン化物
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
出願人:
セントラル硝子株式会社 CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 山口県宇部市大字沖宇部5253番地 5253, Oaza Okiube, Ube-shi, Yamaguchi 7550001, JP
発明者:
長友 真聖 NAGATOMO, Masakiyo; JP
八尾 章史 YAO, Akifumi; JP
北 拓也 KITA, Takuya; JP
上島 修平 UESHIMA, Shuhei; JP
菊池 亜紀応 KIKUCHI, Akiou; JP
代理人:
小林 博通 KOBAYASHI, Hiromichi; JP
富岡 潔 TOMIOKA, Kiyoshi; JP
山口 幸二 YAMAGUCHI, Koji; JP
優先権情報:
2017-16393829.08.2017JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR PROCESSING TUNGSTEN OXIDE AND METHOD FOR PRODUCING TUNGSTEN HEXAFLUORIDE
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'OXYDE DE TUNGSTÈNE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'HEXAFLUORURE DE TUNGSTÈNE
(JA) タングステン酸化物の処理方法及び六フッ化タングステンの製造方法
要約:
(EN) Provided is a method for converting tungsten oxide into a substance having a high vapor pressure selectively with respect to tungsten metal at a reaction temperature that is lower than 500°C without generating oxygen and water due to the reaction. Although tungsten hexafluoride scarcely reacts with tungsten metal, tungsten oxide is brought into contact with tungsten hexafluoride according to the present invention and is converted into a fluorinated tungstate having a high vapor pressure by a reaction expressed by reaction formula (7) or the like. WO3 + 2WF6 → 3WOF4 Reaction formula (7)
(FR) La présente invention concerne un procédé de conversion d'oxyde de tungstène en une substance ayant une pression de vapeur élevée sélectivement par rapport à un métal tungstène à une température réactionnelle qui est inférieure à 500 °C sans générer d'oxygène et d'eau dû à la réaction. Bien que l'hexafluorure de tungstène réagisse rarement avec le métal tungstène, l'oxyde de tungstène est porté en contact avec l'hexafluorure de tungstène selon la présente invention et est converti en un tungstate fluoré ayant une pression de vapeur élevée par une réaction exprimée par la formule réactionnelle (7) ou similaire. WO3 + 2WF6 → 3WOF4 Formule réactionnelle (7)
(JA) 反応温度が500℃未満で、かつ反応によって酸素及び水を生成させることなく、金属タングステンに対して選択的にタングステン酸化物を蒸気圧の高い物質へ変換する方法を提供する。六フッ化タングステンは金属タングステンとほとんど反応しないが、本発明の方法では、タングステン酸化物を六フッ化タングステンに接触させて、反応式(7)に示す反応などにより、蒸気圧の高いタングステン酸フッ化物に転化される。 WO3+2WF6→3WOF4 …反応式(7)
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)