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1. (WO2019044290) 静電式ワーク保持方法及び静電式ワーク保持システム
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国際公開番号: WO/2019/044290 国際出願番号: PCT/JP2018/027849
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 25.07.2018
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H02N 13/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
N
他類に属しない電機
13
静電気の吸引力を用いたクラッチ,把持装置,例.ジョンソン一ラーベック効果を用いたもの
出願人:
株式会社クリエイティブテクノロジー CREATIVE TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県川崎市高津区上作延507番地1 507-1, Kamisakunobe, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2130034, JP
発明者:
尾沢 勝 OZAWA Masaru; JP
代理人:
塚原 孝和 TSUKAHARA Takakazu; JP
優先権情報:
2017-16379828.08.2017JP
2017-23920014.12.2017JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC WORKPIECE-HOLDING METHOD AND ELECTROSTATIC WORKPIECE-HOLDING SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE MAINTIEN DE PIÈCE A TRAVAILLER ÉLECTROSTATIQUE ET APPAREIL DE MAINTIEN DE PIÈCE A TRAVAILLER ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電式ワーク保持方法及び静電式ワーク保持システム
要約:
(EN) Provided are an electrostatic workpiece-holding method and an electrostatic workpiece-holding system such that it is possible to hold a workpiece in a state wherein the application of a voltage to the electrodes of an electrostatic pick-up unit has been interrupted. This electrostatic workpiece-holding method comprises an initialization step S1, a static removal step S2, a workpiece setting step S3, a workpiece pick-up step S4, and a workpiece release step S5. The initialization step S1 is a step of applying a positive voltage to electrode 11 of the electrostatic pick-up unit 1 while applying a negative voltage to electrode 12, and the static removal step S2 is a step of removing the static charge on the surface 1a of the electrostatic pick-up unit 1. The workpiece setting step S3 is a step of placing the workpiece W in contact with the surface 1a of the electrostatic pick-up unit 1, and the workpiece pick-up step S4 is a step of interrupting the application of the positive voltage to electrode 11 of the electrostatic pick-up unit 1 and the application of the negative voltage to electrode 12. In addition, the workpiece release step S5 is a step of applying the positive voltage to electrode 11 of the electrostatic pick-up unit 1 while applying the negative voltage to electrode 12.
(FR) L'invention concerne un procédé de maintien de pièce à travailler électrostatique et un système de maintien de pièce à travailler électrostatique de telle sorte qu'il est possible de maintenir une pièce à travailler dans un état dans lequel l'application d'une tension aux électrodes d'une unité de capture électrostatique a été interrompue. Ce procédé de maintien de pièce à travailler électrostatique comprend une étape d'initialisation S1, une étape de retrait statique S2, une étape de définition de pièce à travailler S3, une étape de capture de pièce à travailler S4, et une étape de libération de pièce à travailler S5. L'étape d'initialisation S1 est une étape d'application d'une tension positive à l'électrode 11 de l'unité de capture électrostatique 1 tout en appliquant une tension négative à l'électrode 12, et l'étape de retrait statique S2 est une étape d'élimination de la charge statique sur la surface 1a de l'unité de capture électrostatique 1. L'étape de définition de pièce S3 est une étape consistant à placer la pièce à travailler W en contact avec la surface 1a de l'unité de capture électrostatique 1, et l'étape S4 de capture de pièce à travailler est une étape d'interruption de l'application de la tension positive à l'électrode 11 de l'unité de capture électrostatique 1 et de l'application de la tension négative à l'électrode 12. De plus, l'étape S5 de libération de pièce à travailler est une étape d'application de la tension positive à l'électrode 11 de l'unité de capture électrostatique 1 tout en appliquant la tension négative à l'électrode 12.
(JA) 静電吸着部の電極への電圧印加を断った状態でワークの保持が可能な静電式ワーク保持方法及び静電式ワーク保持システムを提供する。静電式ワーク保持方法は初期化工程S1と除電工程S2とワークセット工程S3とワーク吸着工程S4とワーク剥離工程S5とで構成される。初期化工程S1は静電吸着部1の電極11に正電圧を印加すると共に電極12に負電圧を印加する工程であり、除電工程S2は静電吸着部1の表面1aの電荷を除電する工程である。そして、ワークセット工程S3はワークWを静電吸着部1の表面1aに当接させる工程であり、ワーク吸着工程S4は静電吸着部1の電極11への正電圧の印加と電極12への負電圧の印加とを断つ工程である。さらに、ワーク剥離工程S5は静電吸着部1の電極11に正電圧を印加すると共に電極12に負電圧を印加する工程である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)