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1. (WO2019044148) 支持ガラス基板及びこれを用いた積層基板
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国際公開番号: WO/2019/044148 国際出願番号: PCT/JP2018/024617
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 28.06.2018
IPC:
H01L 21/02 (2006.01) ,C03C 23/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
23
繊維やフィラメントの形態をとらない繊維以外のガラスのその他の表面処理
出願人:
日本電気硝子株式会社 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 滋賀県大津市晴嵐二丁目7番1号 7-1, Seiran 2-chome, Otsu-shi Shiga 5208639, JP
発明者:
鈴木 良太 SUZUKI Ryota; JP
優先権情報:
2017-16651731.08.2017JP
2018-06110628.03.2018JP
発明の名称: (EN) SUPPORT GLASS SUBSTRATE AND LAMINATED SUBSTRATE USING SAME
(FR) SUBSTRAT DE VERRE DE SUPPORT ET SUBSTRAT STRATIFIÉ L'UTILISANT
(JA) 支持ガラス基板及びこれを用いた積層基板
要約:
(EN) The present invention provides a support glass substrate for supporting a pre-singulation substrate, characterized in that the support glass substrate comprises an information identification section having dots as constituent units on the surface of the support glass substrate and in that the mean length of cracks extending from each of the dots in the surface direction is no greater than 350 μm.
(FR) La présente invention concerne un substrat de verre de support pour supporter un substrat de pré-isolement, caractérisé en ce que le substrat de verre de support comprend une section d'identification d'informations ayant des points en tant qu'unités constitutives sur la surface du substrat de verre de support et en ce que la longueur moyenne de fissures s'étendant à partir de chacun des points dans la direction de surface ne dépasse pas 350 µm.
(JA) 本発明の支持ガラス基板は、加工基板を支持するための支持ガラス基板において、支持ガラス基板の表面にドットを構成単位とする情報識別部を備え、且つドットから伸張するクラックの表面方向の平均長さが350μm以下であることを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)