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1. (WO2019043947) エッチング装置、および表示装置の製造方法
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国際公開番号: WO/2019/043947 国際出願番号: PCT/JP2017/031799
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 04.09.2017
IPC:
H05B 33/10 (2006.01) ,H01L 27/32 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/02 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
28
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる構成部品を含むもの
32
光放出に特に適用される構成部品を有するもの,例.有機発光ダイオードを使用したフラットパネル・ディスプレイ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
02
細部
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
発明者:
谷山 博己 TANIYAMA, Hiroki; --
岡部 達 OKABE, Tohru; --
齋田 信介 SAIDA, Shinsuke; --
市川 伸治 ICHIKAWA, Shinji; --
郡司 遼佑 GUNJI, Ryosuke; --
仲田 芳浩 NAKADA, Yoshihiro; --
井上 彬 INOUE, Akira; --
神村 浩治 JINMURA, Hiroharu; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GRAVURE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE
(JA) エッチング装置、および表示装置の製造方法
要約:
(EN) An etching device (1) is provided with: a chemical treatment tank (20), in which a substrate (2) is transferred; and a jetting section (21), which is disposed in the chemical treatment tank (20), and which has a blowout port (22) facing the direction not intersecting the surface of the substrate (2), said jetting section jetting a mist-like etchant chemical (22) through the blowout port (22).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de gravure qui est pourvu : d'un réservoir de traitement chimique (20), dans lequel un substrat (2) est transféré ; et d'une section de projection (21), qui est disposée dans le réservoir de traitement chimique (20), et qui a un orifice de soufflage (22) faisant face à la direction ne croisant pas la surface du substrat (2), ladite section de projection projetant un produit chimique d'agent de gravure de type brume (22) à travers l'orifice de soufflage (22).
(JA) エッチング装置(1)は、内部で基板(2)が搬送される薬液処理槽(20)と、薬液処理槽(20)の内部に配置され、基板(2)の表面と交わらない方向に向く吹き出し口(22)を有し、かつ吹き出し口(22)を通じて霧状のエッチャント薬液(22)を噴射する噴射部(21)とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)