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1. (WO2019043946) 荷電粒子線装置
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国際公開番号: WO/2019/043946 国際出願番号: PCT/JP2017/031789
国際公開日: 07.03.2019 国際出願日: 04.09.2017
IPC:
H01J 37/141 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
10
レンズ
14
磁気的なもの
141
電磁レンズ
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
30
物体の局所的な処理のための電子ビームまたはイオンビーム管
317
物体の特性をかえるためのものまたはその上に薄層を形成するためのもの,例.イオン注入
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
平野 遼 HIRANO Ryo; JP
野間口 恒典 NOMAGUCHI Tsunenori; JP
神谷 知里 KAMIYA Chisato; JP
片根 純一 KATANE Junichi; JP
代理人:
特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES; 東京都港区愛宕二丁目5-1 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約:
(EN) The present invention provides a charged particle beam device that can efficiently reduce the effects of a residual magnetic field when SEM observation is carried out. This charged particle beam device executes at least one of the following: a first mode in which after a first coil is turned OFF, DC current is flowed to a second coil; and a second mode in which after the first coil is turned OFF, AC current is flowed to a second coil.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées qui peut réduire efficacement les effets d'un champ magnétique résiduel lorsqu'une observation SEM est effectuée. Le dispositif à faisceau de particules chargées selon l'invention exécute un ou plusieurs des éléments suivants : un premier mode dans lequel après l'arrêt d'une première bobine, un courant continu est amené à s'écouler vers une deuxième bobine ; et un second mode dans lequel, après l'arrêt de la première bobine, un courant alternatif est amené à s'écouler vers une deuxième bobine.
(JA) 本発明は、SEM観察を実施したときの残留磁場の作用を効率的に減少させることができる荷電粒子線装置を提供するものである。本発明に係る荷電粒子線装置は、第1コイルをオフにした後に第2コイルに直流電流を流す第1モードと、前記第1コイルをオフにした後に前記第2コイルに交流電流を流す第2モードとの少なくともいずれかを実施する(図5参照)。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)