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1. (WO2019039568) 電子部品受渡し装置
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国際公開番号: WO/2019/039568 国際出願番号: PCT/JP2018/031248
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 23.08.2018
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
出願人:
上野精機株式会社 UENO SEIKI CO., LTD. [JP/JP]; 福岡県遠賀郡水巻町下二西一丁目2番18号 1-2-18, Shimofutanishi, Mizumaki-cho, Onga-gun, Fukuoka 8070052, JP
発明者:
木村 浩之 KIMURA Hiroyuki; JP
代理人:
特許業務法人栄光特許事務所 EIKOH PATENT FIRM, P.C.; 東京都港区西新橋一丁目7番13号 虎ノ門イーストビルディング10階 Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
優先権情報:
2017-16222225.08.2017JP
発明の名称: (EN) ELECTRONIC COMPONENT DELIVERY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DISTRIBUTION DE COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES
(JA) 電子部品受渡し装置
要約:
(EN) An electronic component delivery device (10) for which a vacuum-chucking unit (11) of a collet (12) is arranged at a receiving position (P) on the front side of a wafer sheet (S) having a large number of electronic components (W) adhered to the surface thereof, wherein the electronic component delivery device (10) comprises: a pepper pot (22) provided to be able to move in a first direction approaching the receiving position (P) from the rear side of the wafer sheet (S) and a second direction that is the direction opposite the first direction; and a needle-form member (23) that can move in the first and second directions, it being possible for the tip part of the needle-form member (23) to protrude from the pepper pot (22). In a state in which planar contact is is made with a region B of the rear surface corresponding to a region A for which a plurality of the electronic components (W) of the wafer sheet (S) are adhered to the front surface, the pepper pot (22): moves in the first direction together with the needle-form member (23) so that one of the electronic components (W) is made to contact the vacuum-chucking unit (11) of the collet (12) arranged at the receiving position (P); and, once the wafer sheet (S) has been suctioned, moves in the second direction, and the needle-like member (23) becomes static and preserves the state of contact of the electronic component (W) on the vacuum-chucking unit (11).
(FR) L'invention concerne un dispositif de distribution de composants électroniques (10) pour lequel une unité maintien par le vide (11) d'une pince de serrage (12) est disposée au niveau d'une position de réception (P) sur le côté avant d'une feuille de plaquette (S) possédant un grand nombre de composants électroniques (W) collés à la surface de celui-ci, le dispositif de distribution de composants électroniques (10) comprenant : un poivrer (Pepper pot) (22) prévu pour pouvoir se déplacer dans une première direction s'approchant de la position de réception (P) depuis le côté arrière de la feuille de plaquette (S) et une seconde direction qui est la direction opposée à la première direction; et un élément en forme d'aiguille (23) qui peut se déplacer dans les première et seconde directions, la partie pointe de l'élément en forme d'aiguille (23) pouvant faire saillie du poivrier (pepper pot) (22). Dans un état dans lequel un contact plan est réalisé avec une région B de la surface arrière correspondant à une région A pour laquelle une pluralité des composants électroniques (W) de la feuille de plaquette (S) sont collés à la surface avant, le poivrier (pepper-pot) (22) se déplace dans la première direction conjointement avec l'élément en forme d'aiguille (23) de sorte que l'un des composants électroniques (W) est amené à venir en contact avec l'unité de maintien par le vide (11) de la pince de serrage (12) disposée au niveau de la position de réception (P); et, une fois que la feuille de plaquette (S) a été aspirée, le poivrier (pepper pot) se déplace dans la seconde direction, et l'élément de type aiguille (23) devient statique et conserve l'état de contact du composant électronique (W) sur l'unité de maintien par le vide (11).
(JA) 表面に多数の電子部品(W)が貼り付けられたウエハシート(S)の表側の受取り位置(P)にコレット(12)の吸着部(11)が配される電子部品受渡し装置(10)において、ウエハシート(S)の裏側から受取り位置(P)に接近する第1の方向及びその反対方向の第2の方向に移動可能に設けられたペパーポット(22)と、第1、第2の方向に移動でき、先端部がペパーポット(22)から突出可能な針状部材(23)とを備え、ペパーポット(22)は、ウエハシート(S)の複数の電子部品(W)が表面に貼り付けられた領域Aに対応する裏面の領域Bに面接触した状態で、針状部材(23)と共に第1の方向に移動して1つの電子部品(W)を、受取り位置(P)に配されたコレット(12)の吸着部(11)に接触させ、ウエハシート(S)を吸引した状態で第2の方向に移動し、針状部材(23)は静止して電子部品Wの吸着部(11)への接触状態を維持する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)