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1. (WO2019039474) 接合体および弾性波素子
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国際公開番号: WO/2019/039474 国際出願番号: PCT/JP2018/030853
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 21.08.2018
IPC:
H03H 9/25 (2006.01) ,H01L 41/053 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25
弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41
圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02
細部
04
圧電または電歪素子のもの
053
取付具,支持具,囲いまたはケーシング
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者:
後藤 万佐司 GOTO Masashi; JP
多井 知義 TAI Tomoyoshi; JP
箕浦 舞 MINOURA Mai; JP
代理人:
細田 益稔 HOSODA Masutoshi; JP
青木 純雄 AOKI Sumio; JP
優先権情報:
2017-16222325.08.2017JP
発明の名称: (EN) JOINED BODY AND ELASTIC WAVE ELEMENT
(FR) CORPS LIÉ, ET ÉLÉMENT À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 接合体および弾性波素子
要約:
(EN) [Problem] To provide a microstructure that can securely join, onto a support substrate comprising mullite, a piezoelectric material layer comprising lithium niobate and/or lithium tantalate. [Solution] Provided is a joined body 1 comprising a support substrate 3 and a piezoelectric material layer 2. The support substrate 3 comprises mullite, and a material of the piezoelectric material layer 2 is LiAO3 (where A is one or more elements selected from the group consisting of niobium and tantalum). Also provided are an interfacial layer 4 that is present along an interface of the support substrate 3 and the piezoelectric material layer 2, and a support substrate-side intermediate layer 5 that is present between the interfacial layer 4 and the support substrate 3. The interfacial layer 4 and the support substrate-side intermediate layer 5 each have, as primary components, oxygen, aluminum, silicon, and one or more elements selected from the group consisting of niobium and tantalum.
(FR) L'invention fournit une microstructure qui permet de lier solidement une couche de matériau piézoélectrique constituée de niobate de lithium et de tantalate de lithium, sur un substrat de support constitué de mullite. Plus précisément, l'invention fournit un corps lié (1) qui est équipé du substrat de support (3) et de la couche de matériau piézoélectrique (2). Le substrat de support est constitué d'une mullite, et la matière de la couche de matériau piézoélectrique (2) consiste en un LiAO (A représente au moins une sorte d'élément choisie dans un groupe constitué d'un niobium et d'un tantale). Le corps lié (1) de l'invention est équipé : d'une couche d'interface (4) qui est présente le long de l'interface entre le substrat de support (3) et la couche de matériau piézoélectrique (2) ; et d'une couche intermédiaire côté substrat de support (5) présente entre le substrat de support (3) et la couche d'interface (4). La couche d'interface (4) et la couche intermédiaire côté substrat de support (5) sont chacune essentiellement composées d'au moins une sorte d'élément choisie dans un groupe constitué d'un niobium et d'un tantale, d'un oxygène, d'un aluminium et d'un silicium.
(JA) 【課題】ムライトからなる支持基板上に、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムからなる圧電性材料層を強固に接合できる微構造を提供する。 【解決手段】支持基板3および圧電性材料層2を備えている接合体1を提供する。支持基板3がムライトからなり、圧電性材料層2の材質がLiAOである(Aは、ニオブおよびタンタルからなる群より選ばれた一種以上の元素である)。支持基板3と圧電性材料層2との界面に沿って存在する界面層4および界面層4と支持基板3との間に存在する支持基板側中間層5を備える界面層4および支持基板側中間層5が、それぞれ、ニオブおよびタンタルからなる群より選ばれた一種以上の元素、酸素、アルミニウムおよび珪素を主成分としている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)