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1. (WO2019039371) 透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法
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国際公開番号: WO/2019/039371 国際出願番号: PCT/JP2018/030396
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 16.08.2018
IPC:
H01L 31/0232 (2014.01) ,G01J 3/18 (2006.01) ,G01J 3/51 (2006.01) ,G02B 5/28 (2006.01) ,H01L 31/10 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
02
細部
0232
装置と結合した光学素子または光学装置
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
12
スペクトルの発生;モノクロメータ
18
回折素子,例.回折格子,によるもの
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3
分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
46
色の測定;色測定装置,例.比色計
50
電気的な放射線検出器によるもの
51
色フィルターを用いるもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
20
フィルター
28
干渉フィルター
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
08
輻射線が装置内を流れる電流を制御するもの,例.光―抵抗器(フォト―レジスター)
10
少なくとも1つの電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの,例.フォトトランジスタ
出願人:
国立大学法人東北大学 TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 宮城県仙台市青葉区片平二丁目1番1号 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577, JP
発明者:
金森 義明 KANAMORI Yoshiaki; JP
羽根 一博 HANE Kazuhiro; JP
江間 大祐 EMA Daisuke; JP
代理人:
大家 邦久 OHIE Kunihisa; JP
林 篤史 HAYASHI Atsushi; JP
優先権情報:
2017-16166124.08.2017JP
発明の名称: (EN) TRANSMISSION GUIDED-MODE RESONANT GRATING INTEGRATED SPECTROSCOPY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF DE SPECTROSCOPIE INTÉGRÉ À RÉSEAU RÉSONANT À MODE GUIDÉ DE TRANSMISSION ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法
要約:
(EN) The present invention provides a transmission guided-mode resonant grating integrated spectroscopy device (transmission GMRG integrated spectroscopy device) characterized by comprising, disposed in this order on an optical detector array in which a plurality of diodes are mounted on a substrate made of a semiconductor: a transparent spacer layer; a waveguide layer; a transparent buffer layer provided as desired; a transmission metallic grating layer having a thickness causing surface plasmon; and a transparent protection film layer which is provided as desired.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de spectroscopie intégré à réseau résonnant à mode guidé de transmission (dispositif de spectroscopie intégré de transmission GMRG) caractérisé en ce qu'il comprend, disposées dans cet ordre sur un réseau de détecteurs optiques dans lequel une pluralité de diodes sont montées sur un substrat fait d'un semi-conducteur : une couche d'espacement transparente ; une couche de guide d'ondes ; une couche tampon transparente disposée selon les besoins ; une couche de réseau métallique de transmission ayant une épaisseur provoquant un plasmon de surface ; et une couche de film de protection transparente qui est disposée selon les besoins.
(JA) 本発明は、半導体からなる基板に複数のダイオードが搭載されている光ディテクタアレイ上に、透明スペーサ層、導波層、所望により設ける透明バッファ層、表面プラズモンが発現する厚みを有する透過型金属格子層、及び所望により設ける透明保護膜層を、この順に有することを特徴とする透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス(透過型GMRG一体型分光デバイス)を提供する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)