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1. (WO2019039329) 光検査装置、及び異常検出方法
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国際公開番号: WO/2019/039329 国際出願番号: PCT/JP2018/030122
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 10.08.2018
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G01N 21/64 (2006.01) ,G01N 21/85 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62
調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
63
光学的励起
64
蛍光;燐光
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
85
動いている流体または動いている粒状固体の調査
出願人:
株式会社イシダ ISHIDA CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市左京区聖護院山王町44番地 44 Sanno-cho, Shogoin, Sakyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6068392, JP
発明者:
中島 雅喜 NAKAJIMA Masayoshi; JP
谷口 友厚 TANIGUCHI Tomoatsu; JP
樽本 祥憲 TARUMOTO Yoshinori; JP
近藤 雅 KONDO Tadashi; JP
杉本 一幸 SUGIMOTO Kazuyuki; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2017-15944222.08.2017JP
2017-15944522.08.2017JP
2017-15972922.08.2017JP
2017-15973022.08.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND ABNORMALITY DETECTION METHOD
(FR) APPAREIL D'INSPECTION OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ANOMALIE
(JA) 光検査装置、及び異常検出方法
要約:
(EN) This optical inspection apparatus is provided with: an excitation light irradiation unit that irradiates an inspection region with excitation light that causes a foreign substance attached to an object to be inspected to emit fluorescence; a light conversion unit which is installed in the inspection region and in which fluorescence is induced by the excitation light; a fluorescence detection unit that detects the fluorescence emitted from the light conversion unit and the fluorescence emitted from the foreign substance in the inspection region and outputs detection signals of the detected fluorescence; and a processing unit that detects the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiation unit and/or the fluorescence detection unit on the basis of the detection signal of the fluorescence emitted from the light conversion unit.
(FR) La présente invention concerne un appareil d'inspection optique qui est pourvu : d'une unité d'irradiation de lumière d'excitation qui irradie une région d'inspection avec une lumière d'excitation qui entraîne l'émission de fluorescence par une substance étrangère fixée à un objet à inspecter ; une unité de conversion de lumière qui est installée dans la région d'inspection et dans laquelle la fluorescence est induite par la lumière d'excitation ; une unité de détection de fluorescence qui détecte la fluorescence émise par l'unité de conversion de lumière et la fluorescence émise par la substance étrangère dans la région d'inspection et délivre des signaux de détection de la fluorescence détectée ; et une unité de traitement qui détecte la présence ou l'absence d'une anomalie dans l'unité d'irradiation de lumière d'excitation et/ou l'unité de détection de fluorescence sur la base du signal de détection de la fluorescence émise par l'unité de conversion de lumière.
(JA) 光検査装置は、被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射する励起光照射部と、検査領域内に設置され、励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、検査領域において異物が発生させた蛍光と光変換部が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する処理部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)