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1. (WO2019039290) 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、レジスト膜付きマスクブランクス、レジスト膜付きマスクブランクスのパターン形成方法

国際出願ステータス
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21.08.2019国際出願ステータス レポートHTML, PDF, XMLPDF, XML


公開された国際出願
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28.02.2019最初の国際公開 (ISR 含む)( (A1 09/2019))PDF (162p.)PDF (162p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル), FullText


調査及び審査関連書類
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28.02.2019(ISA/210) 国際調査報告PDF (4p.)PDF (4p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル)
28.02.2019国際調査報告の翻訳文PDF (3p.)PDF (3p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル)
28.02.2019(ISA/237) 国際調査機関の見解書PDF (7p.)PDF (7p.), Zip ファイル (XML + TIFF ファイル)


国際事務局において保管されている関連書類