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1. (WO2019039189) 13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
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国際公開番号: WO/2019/039189 国際出願番号: PCT/JP2018/028206
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 27.07.2018
IPC:
H01L 33/16 (2010.01) ,H01L 33/32 (2010.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
33
光の放出に特に適用される少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する半導体装置;それらの装置またはその部品の製造,あるいは処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02
半導体素子本体に特徴のあるもの
16
特定の結晶構造や結晶方位を有するもの,例.多結晶,アモルファス,ポーラス
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
33
光の放出に特に適用される少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する半導体装置;それらの装置またはその部品の製造,あるいは処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02
半導体素子本体に特徴のあるもの
26
発光領域の材料
30
III族およびV族元素のみを有するもの
32
窒素を含むもの
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者:
平尾 崇行 HIRAO Takayuki; JP
中西 宏和 NAKANISHI Hirokazu; JP
市村 幹也 ICHIMURA Mikiya; JP
下平 孝直 SHIMODAIRA Takanao; JP
坂井 正宏 SAKAI Masahiro; JP
吉野 隆史 YOSHINO Takashi; JP
代理人:
細田 益稔 HOSODA Masutoshi; JP
青木 純雄 AOKI Sumio; JP
優先権情報:
2018-06158028.03.2018JP
PCT/JP2017/03037324.08.2017JP
PCT/JP2017/03403521.09.2017JP
発明の名称: (EN) GROUP 13 ELEMENT NITRIDE LAYER, FREESTANDING SUBSTRATE AND FUNCTIONAL ELEMENT
(FR) COUCHE DE NITRURE D'ÉLÉMENT DE GROUPE 13, SUBSTRAT AUTOPORTEUR ET ÉLÉMENT FONCTIONNEL
(JA) 13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
要約:
(EN) When the upper surface 13a of the group 13 element nitride layer 13 is observed by cathode luminescence, there is a linear high luminance light-emitting portion 5 and a low luminance light-emitting region 6 adjoining the high luminance light-emitting portion 5. The high luminance light-emitting portion 5 includes a portion which extends along the m plane of the group 13 element nitride crystal 13, the content of oxygen atoms does not exceed 1×1018 atoms/cm3, the content of silicon atoms, manganese atoms, carbon atoms, magnesium atoms and calcium atoms does not exceed 1×1017 atoms/cm3, respectively, the content of chromium atoms does not exceed 1×1016 atoms/cm3, and the content of chlorine atoms does not exceed 1×1015 atoms/cm3.
(FR) Lorsque la surface supérieure (13a) de la couche de nitrure d'élément du groupe 13 (13) est observée par luminescence de cathode, il y a une partie électroluminescente à luminance élevée (5) linéaire et une région électroluminescente à faible luminance (6) adjacente à la partie électroluminescente à luminance élevée (5). La partie électroluminescente à luminance élevée (5) comprend une partie qui s'étend le long du plan m du cristal de nitrure d'élément du groupe 13 (13), la teneur en atomes d'oxygène ne dépasse pas 1×1018 atomes/cm3, la teneur en atomes de silicium, en atomes de manganèse, en atomes de carbone, en atomes de magnésium et en atomes de calcium ne dépasse pas respectivement 1×1017 atomes/cm3, la teneur en atomes de chrome ne dépasse pas 1×1016 atomes/cm3 et la teneur en atomes de chlore ne dépasse pas 1×1015 atomes/cm3.
(JA) 13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。高輝度発光部5が、13族元素窒化物結晶13のm面に沿って伸びている部分を含んでおり、酸素原子の含有量が1×1018atom/cm以下であり、珪素原子、マンガン原子、炭素原子、マグネシウム原子およびカルシウム原子の含有量がそれぞれ1×1017atom/cm以下であり、クロム原子の含有量が1×1016atom/cm以下であり、塩素原子の含有量が1×1015atom/cm以下である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)