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1. (WO2019039070) 成膜方法
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国際公開番号: WO/2019/039070 国際出願番号: PCT/JP2018/024019
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 25.06.2018
IPC:
C23C 14/34 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
赤松 泰彦 AKAMATSU Yasuhiko; JP
高橋 律雄 TAKAHASHI Ritsuo; JP
代理人:
特許業務法人青莪 SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 東京都品川区西五反田8-1-14 最勝ビル9階 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031, JP
優先権情報:
2017-15948722.08.2017JP
発明の名称: (EN) FILM DEPOSITION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉPÔT DE FILMS
(JA) 成膜方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a film deposition method by which it is possible to achieve high yield deposition of oxide or nitride films when the target used is an oxide or nitride containing at least one element selected from among metallic elements and metalloid elements as a constituent element, without having to rely on an RF sputtering method. Here, an oxide or nitride containing at least one element selected from among metallic elements and metalloid elements as a constituent element is used as a target, and the target is sputtered in a vacuum atmosphere so that an oxide film or nitride film having a high resistance value is deposited on a substrate surface. Multiple sheets of the target having the same composition are juxtaposed in the same plane, and AC power at a predetermined frequency is applied between paired targets among the juxtaposed targets with the targets being alternately switched between an anode electrode and a cathode electrode so that plasma is generated between the targets, and the target serving as the cathode electrode is sputtered.
(FR) L'objet de la présente invention est de fournir un procédé de dépôt de films par lequel il est possible d'obtenir un dépôt à haut rendement de films d'oxyde ou de nitrure lorsque la cible utilisée est un oxyde ou un nitrure contenant au moins un élément choisi parmi des éléments métalliques et des éléments métalloïdes en tant qu'élément constitutif, sans avoir recours à un procédé de pulvérisation RF. Selon l'invention, un oxyde ou un nitrure contenant au moins un élément choisi parmi des éléments métalliques et des éléments métalloïdes en tant qu'élément constitutif sert de cible, et la cible est pulvérisée dans une atmosphère sous vide de façon à déposer un film d'oxyde ou un film de nitrure ayant une valeur de résistance élevée sur une surface de substrat. De multiples feuilles de la cible ayant la même composition sont juxtaposées dans le même plan, et un courant alternatif à une fréquence prédéfinie est appliqué entre des cibles appariées parmi les cibles juxtaposées, les cibles étant commutées en alternance entre une électrode d'anode et une électrode de cathode de façon à générer un plasma entre les cibles, et à pulvériser la cible servant d'électrode de cathode.
(JA) 金属元素及び半金属元素のうち少なくとも1種を構成元素として含む酸化物または窒化物をターゲットとする場合に、RFスパッタリング法に依らず、高い量産性で酸化物膜や窒化物膜を成膜できる成膜方法を提供する。 金属元素及び半金属元素のうち少なくとも1種を構成元素として含む酸化物または窒化物をターゲットとし、真空雰囲気中でこのターゲットをスパッタリングして被成膜物表面に高抵抗値を持つ酸化物膜または窒化物膜を成膜する。同等の組成を有する上記ターゲットの複数枚を同一平面内に並設し、この並設されたターゲットのうち対をなすターゲット間に所定の周波数の交流電力を投入し、各ターゲットをアノード電極、カソード電極に交互に切り換えることでターゲット相互の間でプラズマを発生させ、カソード電極となっているターゲットをスパッタリングする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)