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1. (WO2019038933) 13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
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国際公開番号: WO/2019/038933 国際出願番号: PCT/JP2017/034035
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 21.09.2017
IPC:
H01L 33/16 (2010.01) ,H01L 33/32 (2010.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
33
光の放出に特に適用される少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する半導体装置;それらの装置またはその部品の製造,あるいは処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02
半導体素子本体に特徴のあるもの
16
特定の結晶構造や結晶方位を有するもの,例.多結晶,アモルファス,ポーラス
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
33
光の放出に特に適用される少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する半導体装置;それらの装置またはその部品の製造,あるいは処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02
半導体素子本体に特徴のあるもの
26
発光領域の材料
30
III族およびV族元素のみを有するもの
32
窒素を含むもの
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者:
平尾 崇行 HIRAO Takayuki; JP
中西 宏和 NAKANISHI Hirokazu; JP
市村 幹也 ICHIMURA Mikiya; JP
下平 孝直 SHIMODAIRA Takanao; JP
坂井 正宏 SAKAI Masahiro; JP
吉野 隆史 YOSHINO Takashi; JP
代理人:
細田 益稔 HOSODA Masutoshi; JP
青木 純雄 AOKI Sumio; JP
優先権情報:
PCT/JP2017/03037324.08.2017JP
発明の名称: (EN) GROUP 13 ELEMENT NITRIDE LAYER, FREESTANDING SUBSTRATE AND FUNCTIONAL ELEMENT
(FR) COUCHE DE NITRURE D’ÉLÉMENT DU GROUPE 13, SUBSTRAT AUTOPORTEUR ET ÉLÉMENT FONCTIONNEL
(JA) 13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
要約:
(EN) [Problem] To provide a group 13 element nitride crystal layer comprising group 13 element nitride crystals selected from gallium nitride, aluminum nitride, indium nitride, or mixed crystals thereof, having an upper surface and a lower surface, and having a microstructure with which it is possible to reduce dislocation density, and reduce the variation in characteristics over the entirety of the layer. [Solution] When the upper surface 13a of the group 13 element nitride crystal layer 13 is observed by cathode luminescence, there is a linear high luminance light-emitting portion 5 and a low luminance light-emitting region 6 adjoining the high luminance light-emitting portion 5. The high luminance light-emitting region 5 includes a portion which extends along the m plane of the group 13 element nitride crystal 13.
(FR) [Problème] fournir une couche de cristal de nitrure d'élément du groupe 13 comprenant des cristaux de nitrure d'élément du groupe 13 choisis parmi le nitrure de gallium, le nitrure d'aluminium, le nitrure d'indium, ou des cristaux mixtes de ceux-ci, ayant une surface supérieure et une surface inférieure, et ayant une microstructure avec laquelle il est possible de réduire la densité de dislocation, et de réduire la variation de caractéristiques sur la totalité de la couche. [Solution] lorsque la surface supérieure 13a de la couche de cristal de nitrure d'élément du groupe 13 est observée par luminescence de cathode, il y a une partie électroluminescente à luminance élevée linéaire 5 et une région électroluminescente à faible luminance 6 adjacente à la partie électroluminescente à luminance élevée 5. La région électroluminescente à luminance élevée 5 comprend une partie qui s'étend le long du plan m du cristal de nitrure d'élément du groupe 13.
(JA) 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。高輝度発光部5が、13族元素窒化物結晶13のm面に沿って伸びている部分を含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)