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1. (WO2019038836) ソフトエラー検査方法、ソフトエラー検査装置及びソフトエラー検査システム
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国際公開番号: WO/2019/038836 国際出願番号: PCT/JP2017/029986
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 22.08.2017
IPC:
G01R 31/30 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28
電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
30
限界試験,例.供給電圧を変えることによるもの
出願人:
富士通株式会社 FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番1号 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588, JP
発明者:
添田 武志 SOEDA, Takeshi; JP
代理人:
伊東 忠重 ITOH, Tadashige; JP
伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SOFT ERROR INSPECTION METHOD, SOFT ERROR INSPECTION DEVICE AND SOFT ERROR INSPECTION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ D’INSPECTION D’ERREUR LOGIQUE, DISPOSITIF D’INSPECTION D’ERREUR LOGIQUE ET SYSTÈME D’INSPECTION D’ERREUR LOGIQUE
(JA) ソフトエラー検査方法、ソフトエラー検査装置及びソフトエラー検査システム
要約:
(EN) To address the problem of inspecting a soft error in a semiconductor device, this soft error inspection method is characterized by being provided with: a step for irradiating a logic circuit of the semiconductor device with an electron beam; and a step for measuring the soft error of the semiconductor device irradiated with the energy beam, wherein the energy beam has been intensity-modulated by a signal obtained by adding a periodic signal component and a noise component.
(FR) Afin de résoudre le problème d’inspection d’une erreur logique dans un dispositif à semi-conducteur, la présente invention concerne un procédé d’inspection d’erreur logique qui est caractérisé en ce qu’il est pourvu de : une étape pour irradier un circuit logique du dispositif à semi-conducteur avec un faisceau d’électrons ; et une étape pour mesurer l’erreur logique du dispositif à semi-conducteur irradié avec le faisceau d’énergie, le faisceau d’énergie ayant été modulé en intensité par un signal obtenu par addition d’une composante de signal périodique et d’une composante de bruit.
(JA) 半導体デバイスにおけるソフトエラー検査方法において、前記半導体デバイスのロジック回路に、エネルギービームを照射する工程と、前記エネルギービームの照射されている前記半導体デバイスのソフトエラーを測定する工程と、を有し、前記エネルギービームは、周期的な信号成分と、ノイズ成分とを加えた信号により強度変調されたものであることを特徴とするソフトエラー検査方法により上記課題を解決する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)