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1. (WO2019038812) 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法
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国際公開番号: WO/2019/038812 国際出願番号: PCT/JP2017/029815
国際公開日: 28.02.2019 国際出願日: 21.08.2017
IPC:
C23C 14/50 (2006.01) ,H01L 27/32 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/10 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
50
基板保持具
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
28
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる構成部品を含むもの
32
光放出に特に適用される構成部品を有するもの,例.有機発光ダイオードを使用したフラットパネル・ディスプレイ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
出願人:
堺ディスプレイプロダクト株式会社 SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumicho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
発明者:
岸本 克彦 KISHIMOTO, Katsuhiko; JP
崎尾 進 SAKIO, Susumu; JP
代理人:
特許業務法人朝日奈特許事務所 ASAHINA & CO.; 大阪府大阪市中央区谷町二丁目2番22号 NSビル NS Building, 2-22, Tanimachi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400012, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION APPARATUS, VAPOR DEPOSITION METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING ORGANIC EL DISPLAY DEVICE
(FR) APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE PRODUIRE UN DISPOSITIF D'AFFICHAGE EL ORGANIQUE
(JA) 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法
要約:
(EN) Provided are: a vapor deposition apparatus capable of preventing heat generation from a magnetic chuck through the use of a magnetic chuck that makes it less likely for a vapor deposition mask and a substrate to be subjected to vapor deposition to be affected by magnetic fields during alignment thereof and exerts a strong pull on the vapor deposition mask to bring the substrate undergoing vapor deposition into close contact with the vapor deposition mask during vapor deposition; a vapor deposition method; and a method for producing an organic EL display device. In said vapor deposition apparatus, the magnetic chuck (3) is provided with a permanent magnet (3A) and an electromagnet (3B).
(FR) L'invention concerne : un appareil de dépôt en phase vapeur susceptible d'empêcher la production de chaleur à partir d'un mandrin magnétique au moyen d'un mandrin magnétique qui réduit la probabilité qu'un masque de dépôt en phase vapeur et un substrat à soumettre à un dépôt en phase vapeur soient altérés par des champs magnétiques pendant leur alignement et qui exerce une forte traction sur le masque de dépôt en phase vapeur afin d'amener le substrat subissant un dépôt en phase vapeur en contact étroit avec le masque de dépôt en phase vapeur pendant le dépôt en phase vapeur ; un procédé de dépôt en phase vapeur ; et un procédé de production d'un dispositif d'affichage EL organique. Dans ledit appareil de dépôt en phase vapeur, le mandrin magnétique (3) est pourvu d'un aimant permanent (3A) et d'un électroaimant (3B).
(JA) 被蒸着基板と蒸着マスクとの位置合せ時には磁界の影響を受け難くしながら、蒸着時には蒸着マスクを強く吸引して被蒸着基板と蒸着マスクとを近接させるマグネットチャックを用いることで、マグネットチャックによる発熱を防止し得る蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法が提供される。この蒸着装置では、マグネットチャック(3)が永久磁石(3A)と電磁石(3B)とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)