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1. (WO2019035328) 気密パッケージの製造方法及び気密パッケージ
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国際公開番号: WO/2019/035328 国際出願番号: PCT/JP2018/027956
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 25.07.2018
IPC:
H01L 23/02 (2006.01) ,C03C 27/06 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
02
容器,封止
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
C
ガラス,うわ薬またはガラス質ほうろうの化学組成;ガラスの表面処理;ガラス,鉱物またはスラグからの繊維またはフィラメントの表面処理;ガラスのガラスまたは他物質への接着
27
ガラスの他の無機物質への接着;融着以外によるガラスのガラスへの接着
06
融着以外の方法によるガラスのガラスへの接着
出願人:
日本電気硝子株式会社 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 滋賀県大津市晴嵐二丁目7番1号 7-1, Seiran 2-chome, Otsu-shi Shiga 5208639, JP
発明者:
廣瀬 将行 HIROSE Masayuki; JP
優先権情報:
2017-15702616.08.2017JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING AIRTIGHT PACKAGE AND AIRTIGHT PACKAGE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN EMBALLAGE ÉTANCHE À L'AIR ET EMBALLAGE ÉTANCHE À L'AIR
(JA) 気密パッケージの製造方法及び気密パッケージ
要約:
(EN) This method for manufacturing an airtight package is characterized by comprising: a step for preparing a glass lid and forming a first sealing material layer on the glass lid; a step for preparing a package base body and forming a second sealing material layer on the package base body; a step for stacking and arranging the glass lid and the package base body so that the first sealing material layer and the second sealing material layer are in contact; and a step for emitting a laser beam from the glass lid side to soften and deform the first sealing material layer and the second sealing material layer so that the first sealing material layer and the second sealing material layer are airtightly sealed, thereby obtaining an airtight package, wherein the average width of the second sealing material layer is configured to be larger than the average width of the first sealing material layer, and the irradiation diameter of the laser beam is configured to be smaller than the average width of the second sealing material layer.
(FR) Ce procédé de fabrication d'un emballage étanche à l'air est caractérisé en ce qu'il comprend : une étape de préparation d'un couvercle en verre et de formation d'une première couche de matériau d'étanchéité sur le couvercle en verre ; une étape de préparation d'un corps de base d'emballage et de formation d'une seconde couche de matériau d'étanchéité sur le corps de base d'emballage ; une étape d'empilement et d'agencement du couvercle en verre et du corps de base d'emballage de telle sorte que la première couche de matériau d'étanchéité et la seconde couche de matériau d'étanchéité sont en contact ; et une étape d'émission d'un faisceau laser depuis le côté couvercle en verre pour ramollir et déformer la première couche de matériau d'étanchéité et la seconde couche de matériau d'étanchéité de telle sorte que la première couche de matériau d'étanchéité et la seconde couche de matériau d'étanchéité sont scellées de façon étanche à l'air, ce qui permet d'obtenir un emballage étanche à l'air, la largeur moyenne de la seconde couche de matériau d'étanchéité étant configurée pour être supérieure à la largeur moyenne de la première couche de matériau d'étanchéité, et le diamètre d'irradiation du faisceau laser étant configuré pour être inférieur à la largeur moyenne de la seconde couche de matériau d'étanchéité.
(JA) 本発明の気密パッケージの製造方法は、ガラス蓋を用意すると共に、ガラス蓋上に第一の封着材料層を形成する工程と、パッケージ基体を用意すると共に、パッケージ基体上に第二の封着材料層を形成する工程と、第一の封着材料層と第二の封着材料層が接触するように、ガラス蓋とパッケージ基体を積層配置する工程と、ガラス蓋側からレーザー光を照射し、第一の封着材料層と第二の封着材料層を軟化変形させることにより、第一の封着材料層と第二の封着材料層を気密封着して、気密パッケージを得る工程と、を備え、第二の封着材料層の平均幅を第一の封着材料層の平均幅よりも大きくすると共に、レーザー光の照射径を第二の封着材料層の平均幅よりも小さくすることを特徴とすることを特徴とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)