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1. (WO2019035321) 偏光光照射装置
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国際公開番号: WO/2019/035321 国際出願番号: PCT/JP2018/027692
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 24.07.2018
IPC:
G02F 1/1337 (2006.01)
G 物理学
02
光学
F
光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1
独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01
強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13
液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
133
構造配置;液晶セルの作動;回路配置
1333
構造配置
1337
液晶分子の界面による配向,例.配向層
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者:
橋本 和重 HASHIMOTO Kazushige; JP
新井 敏成 ARAI Toshinari; JP
代理人:
坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
優先権情報:
2017-15656514.08.2017JP
2017-18260222.09.2017JP
発明の名称: (EN) POLARIZED LIGHT IRRADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION PAR LUMIÈRE POLARISÉE
(JA) 偏光光照射装置
要約:
(EN) According to the present invention, exposure can be performed at a time on a large-sized workpiece. A first lamp and a second lamp, the longitudinal directions of which are approximately perpendicular to the conveying direction of a target object, are disposed offset from each other in the conveying direction and a perpendicular direction which is approximately perpendicular to the conveying direction, and in the perpendicular direction, a first end of the first lamp overlaps the second lamp, and a second end of the second lamp overlaps the first lamp. When seen in a plan view, a first light-shielding part is provided so as to overlap a first region, which is a portion of a long strip-shaped region, in the perpendicular direction in which light is emitted from the first lamp; a second light-shielding part is provided so as to overlap a second region, which is a portion of a long strip-shaped region, in the perpendicular direction in which light is emitted from the second lamp; and the positions of the first region and the second region are approximately the same in the perpendicular direction. In addition, the sum of the areas of the first light-shielding part and the second light-shielding part are approximately the same as the area of the first region and the second region.
(FR) Selon la présente invention, une exposition peut être effectuée à un moment donné sur une pièce de grande taille. Une première lampe et une seconde lampe, dont les directions longitudinales sont approximativement perpendiculaires à la direction de transport d'un objet cible, sont disposées de manière décalée l'une par rapport à l'autre dans la direction de transport et une direction perpendiculaire qui est approximativement perpendiculaire à la direction de transport, et dans la direction perpendiculaire, une première extrémité de la première lampe chevauche la seconde lampe, et une seconde extrémité de la seconde lampe chevauche la première lampe. Dans une vue en plan, une première partie de protection contre la lumière est disposée de manière à chevaucher une première région, qui est une partie d'une longue région en forme de bande, dans la direction perpendiculaire dans laquelle la lumière est émise par la première lampe ; une seconde partie de protection contre la lumière est disposée de manière à chevaucher une seconde région, qui est une partie d'une longue région en forme de bande, dans la direction perpendiculaire dans laquelle la lumière est émise par la seconde lampe ; et les positions de la première région et de la seconde région sont approximativement les mêmes dans la direction perpendiculaire. De plus, la somme des surfaces de la première partie de protection contre la lumière et de la seconde partie de protection contre la lumière est approximativement la même que la surface de la première région et de la seconde région.
(JA) 大型のワークに対して一度で露光処理を行うことができる。 長手方向が対象物の搬送方向に対して略直交する第1ランプ及び第2ランプは、搬送方向及び搬送方向と略直交する方向である直交方向にずらして配置され、直交方向において、第1ランプの第1端が第2ランプと重なり、第2ランプの第2端が第1ランプと重なる。平面視において、第1ランプからの光が照射される直交方向に長い帯状の領域の一部である第1領域と重なるように第1遮光部が設けられ、第2ランプからの光が照射される直交方向に長い帯状の領域の一部である第2領域と重なるように第2遮光部が設けられ、第1領域と第2領域とは直交方向の位置が略同一である。また、第1遮光部の面積と第2遮光部の面積との和は、第1領域及び第2領域の面積と略同一である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)