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1. (WO2019035294) 交換結合膜ならびにこれを用いた磁気抵抗効果素子および磁気検出装置
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国際公開番号: WO/2019/035294 国際出願番号: PCT/JP2018/026314
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 12.07.2018
IPC:
H01L 43/10 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
10
材料の選択
出願人:
アルプスアルパイン株式会社 ALPS ALPINE CO., LTD. [JP/JP]; 東京都大田区雪谷大塚町1番7号 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501, JP
発明者:
齋藤 正路 SAITO, Masamichi; JP
遠藤 広明 ENDO, Hiroaki; JP
小池 文人 KOIKE, Fumihito; JP
代理人:
大窪 克之 OKUBO, Katsuyuki; JP
優先権情報:
2017-15634714.08.2017JP
2017-24908326.12.2017JP
発明の名称: (EN) EXCHANGE COUPLED FILM, MAGNETIC RESISTANCE EFFECT ELEMENT USING EXCHANGE COUPLED FILM, AND MAGNETIC DETECTION DEVICE USING EXCHANGE COUPLED FILM
(FR) FILM À COUPLAGE D'ÉCHANGE, ÉLÉMENT À EFFET DE RÉSISTANCE MAGNÉTIQUE FAISANT APPEL À UN FILM À COUPLAGE D'ÉCHANGE, ET DISPOSITIF DE DÉTECTION MAGNÉTIQUE FAISANT APPEL À UN FILM À COUPLAGE D'ÉCHANGE
(JA) 交換結合膜ならびにこれを用いた磁気抵抗効果素子および磁気検出装置
要約:
(EN) Provided is an exchange coupled film 10 that: has a large magnetic field (Hex) that inverts the orientation of the magnetization of a fixed magnetic layer; is highly stable at high temperatures; has excellent strong-magnetic-field resistance; and is characterized by having a laminate structure that comprises an antiferromagnetic layer 2 and a fixed magnetic layer 3 that comprises a ferromagnetic layer, the antiferromagnetic layer 2 having a laminate structure that comprises, in order, a PtCr layer 2A, a PtMn layer 2B, and an IrMn layer 2C, the IrMn 2C layer being in contact with the fixed magnetic layer 3. In some cases, it is favorable for the film thickness of the PtMn layer 2B to be at least 12 Å. In some cases, it is favorable for the film thickness of the IrMn layer 2C to be at least 6 Å. In some cases, it is favorable for the total of the film thickness of the PtMn layer 2B and the film thickness of the IrMn layer 2C to be at least 20 Å.
(FR) L'invention concerne un film à couplage d'échange 10 qui : a un grand champ magnétique (Hex) qui inverse l'orientation de la magnétisation d'une couche magnétique fixe ; est hautement stable à des températures élevées ; présente une excellente résistance à un champ magnétique fort ; et est caractérisé en ce qu'il comporte une structure stratifiée qui comprend une couche antiferromagnétique 2 et une couche magnétique fixe 3 qui comprend une couche ferromagnétique, la couche antiferromagnétique 2 comportant une structure stratifiée qui comprend, dans l'ordre, une couche de PtCr 2A, une couche de PtMn 2B et une couche d'IrMn 2C, la couche d'IrMn 2C étant en contact avec la couche magnétique fixe 3. Dans certains cas, il est avantageux que l'épaisseur de film de la couche de PtMn soit d'au moins 12 Å. Dans certains cas, il est avantageux que l'épaisseur de film de la couche d'IrMn 2C soit d'au moins 6 Å. Dans certains cas, il est avantageux que le total de l'épaisseur de film de la couche de PtMn 2B et de l'épaisseur de film de la couche d'IrMn 2C soit d'au moins 20 Å.
(JA) 固定磁性層の磁化の向きが反転する磁界(Hex)が大きく高温条件下における安定性が高く、しかも強磁場耐性に優れる交換結合膜として、反強磁性層2と強磁性層を備える固定磁性層3とが積層され、反強磁性層2はPtCr層2A、PtMn層2BおよびIrMn層2Cがこの順番で積層された構造を有し、IrMn層2Cが固定磁性層3に接していることを特徴とする交換結合膜10が提供される。PtMn層2Bの膜厚は12Å以上であることが好ましい場合があり、IrMn層2Cの膜厚は6Å以上であることが好ましい場合があり、PtMn層2Bの膜厚とIrMn層2Cの膜厚との総和が20Å以上であることが好ましい場合がある。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)