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1. (WO2019035252) 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置
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国際公開番号: WO/2019/035252 国際出願番号: PCT/JP2018/018284
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 11.05.2018
IPC:
H01L 27/146 (2006.01) ,H01L 31/10 (2006.01) ,H04N 5/369 (2011.01) ,H01L 27/30 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14
赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144
輻射線によって制御される装置
146
固体撮像装置構造
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
08
輻射線が装置内を流れる電流を制御するもの,例.光―抵抗器(フォト―レジスター)
10
少なくとも1つの電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの,例.フォトトランジスタ
H 電気
04
電気通信技術
N
画像通信,例.テレビジョン
5
テレビジョン方式の細部
30
光または類似信号から電気信号への変換
335
固体撮像素子を用いるもの
369
固体撮像素子の構造,固体撮像素子と関連する回路に特徴のあるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
28
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる構成部品を含むもの
30
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射への感応に特に適用される構成部品を有するもの;輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するか,またはこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用される構成部品を有するもの
出願人:
ソニー株式会社 SONY CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南1丁目7番1号 1-7-1, Konan, Minato-ku, Tokyo 1080075, JP
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県厚木市旭町四丁目14番1号 4-14-1, Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa 2430014, JP
発明者:
小野 秀樹 ONO Hideki; JP
兼田 有希央 KANEDA Yukio; JP
代理人:
山本 孝久 YAMAMOTO Takahisa; JP
吉井 正明 YOSHII Masaaki; JP
優先権情報:
2017-15714316.08.2017JP
発明の名称: (EN) IMAGING ELEMENT, LAYERED IMAGING ELEMENT AND SOLID-STATE IMAGING DEVICE
(FR) ÉLÉMENT D'IMAGERIE, ÉLÉMENT D'IMAGERIE EN COUCHES ET DISPOSITIF D'IMAGERIE À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置
要約:
(EN) This imaging element (photoelectric conversion element) is provided with a photoelectric conversion unit formed by layering a first electrode 21, a photoelectric conversion layer 23A and a second electrode 22. A composite oxide layer 23B comprising an indium-gallium-zinc composite oxide is formed between the first electrode 21 and the photoelectric conversion layer 23A. The composite oxide layer 23B is provided with a first layer 23B1 that is adjacent to the first electrode 21 and a second layer 23B2 that is adjacent to the photoelectric conversion layer 23A. The indium content in the first layer 23B1 is higher than the indium content in the second layer 23B2, or the gallium content in the first layer 23B1 is lower than the gallium-indium content in the second layer 23B2, or the zinc content in the first layer 23B1 is higher than the zinc content in the second layer 23B2.
(FR) L'élément d'imagerie de la présente invention (élément de conversion photoélectrique) est pourvu d'une unité de conversion photoélectrique qui est formée par la stratification d'une première électrode 21, d'une couche de conversion photoélectrique 23A et d'une seconde électrode 22. Une couche d'oxyde composite 23B contenant un oxyde composite indium-gallium-zinc est formée entre la première électrode 21 et la couche de conversion photoélectrique 23A. La couche d'oxyde composite 23B est pourvue d'une première couche 23B1 qui est adjacente à la première électrode 21 et d'une seconde couche 23B2 qui est adjacente à la couche de conversion photoélectrique 23A. La teneur en indium dans la première couche 23B1 est supérieure à la teneur en indium dans la seconde couche 23B2, ou la teneur en gallium dans la première couche 23B1 est inférieure à la teneur en gallium-indium dans la seconde couche 23B2, ou la teneur en zinc dans la première couche 23B1 est supérieure à la teneur en zinc dans la seconde couche 23B2.
(JA) 撮像素子(光電変換素子)は、第1電極21、光電変換層23A及び第2電極22が積層されて成る光電変換部を備えており、第1電極21と光電変換層23Aとの間には、インジウム-ガリウム-亜鉛複合酸化物から成る複合酸化物層23Bが形成されており、複合酸化物層23Bは、第1電極21に隣接した第1層23B1、及び、光電変換層23Aに隣接した第2層23B2を備えており、第1層23B1におけるインジウム組成は、第2層23B2におけるインジウム組成よりも高く、又は、第1層23B1におけるガリウム組成は、第2層23B2におけるガリウムインジウム組成よりも低く、又は、第1層23B1における亜鉛組成は、第2層23B2における亜鉛組成よりも高い。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)