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1. (WO2019035239) 真空排気装置及び真空排気装置の冷却方法
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国際公開番号: WO/2019/035239 国際出願番号: PCT/JP2018/012333
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 27.03.2018
IPC:
F04C 29/04 (2006.01) ,F04C 25/02 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
C
液体用回転ピストンまたは揺動ピストン容積形機械;回転ピストンまたは揺動ピストン容積形ポンプ
29
グループ18/00から28/00に分類されないまたは上記グループにはない注目すべき,圧縮性流体に特に適したポンプまたはポンプ装置の部品,細部または付属品
04
加熱;冷却;熱絶縁
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
C
液体用回転ピストンまたは揺動ピストン容積形機械;回転ピストンまたは揺動ピストン容積形ポンプ
25
特殊用途への圧縮性流体用ポンプの適用
02
高真空発生用
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
橋本 建治 HASHIMOTO, Kenji; JP
井上 英晃 INOUE, Hideaki; JP
柴山 浩司 SHIBAYAMA, Koji; JP
鈴木 敏生 SUZUKI, Toshio; JP
代理人:
大森 純一 OMORI, Junichi; JP
優先権情報:
2017-15649614.08.2017JP
発明の名称: (EN) VACUUM EXHAUST DEVICE AND METHOD FOR COOLING VACUUM EXHAUST DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉVACUATION PAR ASPIRATION ET PROCÉDÉ DE REFROIDISSEMENT DE DISPOSITIF D'ÉVACUATION PAR ASPIRATION
(JA) 真空排気装置及び真空排気装置の冷却方法
要約:
(EN) [Problem] To improve the cooling efficiency of a vacuum exhaust device. [Solution] This vacuum exhaust device is equipped with a vacuum pump, a cooling mechanism, and a blower. The vacuum pump has a pump body, a driving unit for driving the pump body, and a control unit for controlling the driving unit. The cooling mechanism has a cooling circuit, a circulation pump for circulating a refrigerant through the cooling circuit, and an air cooled heat exchanger that is connected to the cooling circuit and can cool the refrigerant. The cooling mechanism cools the control unit with the refrigerant. The blower can blow external air from the vacuum pump toward the air cooled heat exchanger. The blower cools both the control unit and the air cooled heat exchanger with the external air.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est d'améliorer l’efficacité de refroidissement d'un dispositif d'évacuation par aspiration. La solution selon l'invention porte sur un dispositif d'évacuation par aspiration équipé d'une pompe à vide, d'un mécanisme de refroidissement et d'une soufflante. La pompe à vide comprend un corps de pompe, une unité d'entraînement destinée à entraîner le corps de pompe, et une unité de commande destinée à commander l'unité d'entraînement. Le mécanisme de refroidissement comprend un circuit de refroidissement, une pompe de circulation servant à faire circuler un frigorigène à travers le circuit de refroidissement, et un échangeur de chaleur refroidi par air relié au circuit de refroidissement et apte à refroidir le frigorigène. Le mécanisme de refroidissement refroidit l'unité de commande avec le fluide frigorigène. La soufflante permet souffler de l'air extérieur de la pompe à vide vers l'échangeur de chaleur refroidi par air. La soufflante refroidit à la fois l'unité de commande et l'échangeur de chaleur refroidi par air avec l'air externe.
(JA) 【課題】真空排気装置の冷却効率の向上。 【解決手段】真空排気装置は、真空ポンプと、冷却機構と、送風機とを具備する。上記真空ポンプは、ポンプ本体と、上記ポンプ本体を駆動する駆動部と、上記駆動部を制御する制御部とを有する。上記冷却機構は、冷却回路と、上記冷却回路に冷媒体を循環させる循環ポンプと、上記冷却回路に接続され上記冷媒体を冷却することが可能な空冷式熱交換器とを有する。上記冷却機構は、上記冷媒体により上記制御部を冷却する。上記送風機は、上記真空ポンプから上記空冷式熱交換器に向けて外気を送風することができる。上記送風機は、上記外気により上記制御部及び空冷式熱交換器のそれぞれを空冷する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)