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1. (WO2019035165) 極端紫外光生成装置及びメンテナンス方法
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国際公開番号: WO/2019/035165 国際出願番号: PCT/JP2017/029295
国際公開日: 21.02.2019 国際出願日: 14.08.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
若菜 克彦 WAKANA, Katsuhiko; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE AND MAINTENANCE METHOD
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME ET PROCÉDÉ DE MAINTENANCE
(JA) 極端紫外光生成装置及びメンテナンス方法
要約:
(EN) An extreme ultraviolet light generation device of one aspect of the present disclosure, comprises: an optical base; and a chamber module configured to be interchangeable with respect to the optical base. The chamber module includes: a chamber in which extreme ultraviolet light is generated; a light condensing mirror that is disposed inside the chamber and condenses the extreme ultraviolet light generated inside the chamber; a window for allowing laser light that has been introduced to the optical base to pass to the inside of the chamber, and that has a function of sealing the chamber in an airtight state; and a laser light condensing optical system for condensing the laser light that has passed through the window.
(FR) La présente invention concerne, selon un aspect, un dispositif de génération de lumière ultraviolette extrême comprenant : une base optique ; et un module de chambre configuré pour être interchangeable par rapport à la base optique. Le module de chambre comprend : une chambre dans laquelle une lumière ultraviolette extrême est générée ; un miroir de condensation de lumière qui est disposé à l'intérieur de la chambre et condense la lumière ultraviolette extrême générée à l'intérieur de la chambre ; une fenêtre destinée à permettre à la lumière laser qui a été introduite dans la base optique de passer à l'intérieur de la chambre, et qui a pour fonction de sceller la chambre dans un état étanche à l'air ; et un système optique de condensation de lumière laser servant à condenser la lumière laser qui a traversé la fenêtre.
(JA) 本開示の一観点に係る極端紫外光生成装置は、光学基台と、光学基台に対して交換可能に構成されたチャンバモジュールと、を備え、チャンバモジュールは、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバの内部に配置され、チャンバの内部で生成された極端紫外光を集光する集光ミラーと、光学基台に導入されたレーザ光をチャンバの内部に透過させ、かつ、チャンバを密閉状態に封止する機能を持つウインドウと、ウインドウを透過したレーザ光を集光するレーザ光集光光学系と、を含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)