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1. (WO2019031566) MEMS振動素子、MEMS振動素子の製造方法および振動発電素子
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/031566 国際出願番号: PCT/JP2018/029843
国際公開日: 14.02.2019 国際出願日: 08.08.2018
IPC:
B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 3/00 (2006.01) ,H02N 1/00 (2006.01) ,H02N 2/18 (2006.01)
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
C
マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に,特に適合した方法または装置
3
個別に処理された構成部品からの,装置またはシステムの組立
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
N
他類に属しない電機
1
動くソリッド型静電荷運搬体を用いた静電発電機または電動機
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
N
他類に属しない電機
2
圧電効果,電歪または磁歪を用いる電機一般
18
機械的入力から電気的出力を生じるもの,例.発電機(測定装置用G01)
出願人:
国立大学法人 静岡大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION SHIZUOKA UNIVERSITY [JP/JP]; 静岡県静岡市駿河区大谷836 836, Ohya, Suruga-ku, Shizuoka-shi, Shizuoka 4228529, JP
株式会社鷺宮製作所 SAGINOMIYA SEISAKUSHO, INC. [JP/JP]; 東京都中野区若宮2丁目55番5号 55-5, Wakamiya 2-chome, Nakano-ku, Tokyo 1650033, JP
発明者:
橋口 原 HASHIGUCHI, Gen; JP
古賀 英明 KOGA, Hideaki; JP
代理人:
永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
池田 恵一 IKEDA, Keiichi; JP
優先権情報:
2017-15447509.08.2017JP
発明の名称: (EN) MEMS VIBRATION ELEMENT, PRODUCTION METHOD FOR MEMS VIBRATION ELEMENT, AND VIBRATION POWER GENERATION ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT DE VIBRATION MEMS ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, ET ÉLÉMENT DE PRODUCTION D'ÉNERGIE DE VIBRATION
(JA) MEMS振動素子、MEMS振動素子の製造方法および振動発電素子
要約:
(EN) A MEMS vibration element that comprises a base part, a fixed part that is fixed to the base part, a mobile part that can move relative to the fixed part, and an elastic support part that elastically supports the mobile part on the base part. The elastic support part is formed from a different material than the fixed part and the mobile part.
(FR) La présente invention concerne un élément de vibration MEMS qui comprend une partie base, une partie fixe qui est fixée à la partie base, une partie mobile qui peut se mouvoir par rapport à la partie fixe, et une partie support élastique qui soutient élastiquement la partie mobile sur la partie base. La partie support élastique est constituée d'un matériau différent de celui des parties fixe et mobile.
(JA) MEMS振動素子は、ベース部と、ベース部に固定された固定部と、固定部に対して可動する可動部と、可動部をベース部に弾性支持する弾性支持部とを備え、弾性支持部は、固定部および可動部とは別材料で形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)