このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2019031453) 光配向用露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/031453 国際出願番号: PCT/JP2018/029427
国際公開日: 14.02.2019 国際出願日: 06.08.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02F 1/13 (2006.01) ,G02F 1/1337 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
G 物理学
02
光学
F
光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1
独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01
強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13
液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
G 物理学
02
光学
F
光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1
独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01
強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13
液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
133
構造配置;液晶セルの作動;回路配置
1333
構造配置
1337
液晶分子の界面による配向,例.配向層
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
発明者:
吉田 祐治 YOSHIDA Yuji; JP
池田 聡 IKEDA Satoshi; JP
新井 敏成 ARAI Toshinari; JP
三宅 敢 MIYAKE Isamu; JP
片山 崇 KATAYAMA Takashi; JP
平井 明 HIRAI Akira; JP
代理人:
特許業務法人 英知国際特許事務所 EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.; 東京都文京区千石4丁目45番13号 45-13, Sengoku 4-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1120011, JP
優先権情報:
2017-15440909.08.2017JP
発明の名称: (EN) PHOTO-ALIGNING EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION À PHOTO-ALIGNEMENT
(JA) 光配向用露光装置
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a photo-aligning exposure device which performs diagonal exposure in order to develop a pretilt angle, wherein an inexpensive scattering light source (volume light source) can be used and a uniform illuminance distribution can be obtained with a compact configuration. This photo-aligning exposure device (1) that performs a photo-alignment process by scanning and exposing, in one direction, a surface to be illuminated, is provided with: a light source (2) which emits scattered light toward a surface (10S) to be illuminated; an optical filter (3) which selectively emits ultraviolet rays in the light emitted from the light source (2); and an irradiation angle restriction member (4) which selectively emits light applied diagonally relative to the scanning direction, among light emitted from the optical filter (3), wherein the irradiation angle restriction member (4) has a plurality of flat-plate-shaped light direction restriction plates (40) that are arrayed at predetermined intervals along the scanning direction so as to be parallel to each other and tilted at a certain angle relative to the surface (10S) to be illuminated.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif d'exposition à photo-alignement qui effectue une exposition diagonale afin de développer un angle de pré-inclinaison, une source de lumière de diffusion peu coûteuse (source de lumière de volume) pouvant être utilisée et une distribution d'éclairage uniforme pouvant être obtenue avec une configuration compacte. Ce dispositif d'exposition à photo-alignement (1) qui effectue un processus de photo-alignement par balayage et exposition, dans une direction, d'une surface à éclairer, comprend: une source de lumière (2) qui émet une lumière diffusée vers une surface (10S) à éclairer; un filtre optique (3) qui émet sélectivement des rayons ultraviolets dans la lumière émise depuis la source de lumière (2); et un élément de restriction d'angle d'irradiation (4) qui émet sélectivement de la lumière appliquée en diagonale par rapport à la direction de balayage, parmi la lumière émise à partir du filtre optique (3), l'élément de restriction d'angle d'irradiation (4) ayant une pluralité de plaques de restriction de direction de lumière en forme de plaque plane (40) qui sont disposées en réseau à des intervalles prédéterminés le long de la direction de balayage de façon à être parallèles les unes aux autres et inclinées selon un certain angle par rapport à la surface (10S) à éclairer.
(JA) プレチルト角を発現させるために斜め露光を行う光配向用露光装置において、安価な散乱光源(体積光源)を用いることができると共に、コンパクトな形態で均一な照度分布を得る。被照射面に対して一方向に走査露光を行うことで光配向処理を行う光配向用露光装置(1)は、被照射面(10S)に向けて散乱光を出射する光源(2)と、光源(2)から出射された光のうち、紫外線を選択的に出射する光学フィルタ(3)と、光学フィルタ(3)から出射された光のうち、走査方向に対して斜めに照射される光を選択的に出射する照射角度制限部材(4)とを備え、照射角度制限部材(4)は、平板状の光方向制限板(40)を、被照射面(10S)に対して一定の角度で傾斜させ、走査方向に沿って設定間隔で複数平行配列させている。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)