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1. (WO2019031301) 流体供給装置および流体供給方法
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国際公開番号: WO/2019/031301 国際出願番号: PCT/JP2018/028592
国際公開日: 14.02.2019 国際出願日: 31.07.2018
IPC:
H01L 21/304 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP
発明者:
吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide; JP
皆見 幸男 MINAMI Yukio; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
代理人:
藤本 健司 FUJIMOTO Kenji; JP
優先権情報:
2017-15617710.08.2017JP
発明の名称: (EN) FLUID SUPPLY DEVICE AND FLUID SUPPLY METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN FLUIDE, ANALYSEUR D’ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN FLUIDE
(JA) 流体供給装置および流体供給方法
要約:
(EN) [Problem] To provide a fluid supply device and a fluid supply method that make it possible to stably supply a supercritical fluid. [Solution] A fluid supply device 1 that: supplies a fluid that is in a pre–supercritical fluid transformation liquid state toward a processing chamber 500; and has a condenser 130 that condenses and liquefies gaseous carbon dioxide, a tank 140 that stores fluid that has been condensed and liquefied by the condenser 130, a pump 150 that pressure-feeds the liquefied carbon dioxide stored in the tank 140 toward the processing chamber 500, and a damper part 10 that is provided on a flow path 2 that communicates with a discharge side of the pump 150, and suppresses periodic fluctuations in the pressure of fluid discharged from the pump 150. The damper 10 has a spiral tube 20 that is fixed at either end in a prescribed position and transmits the fluid discharged from the pump 150.
(FR) Le problème décrit par la présente invention consiste à fournir un dispositif et un procédé d'alimentation en fluide permettant de fournir une alimentation stable en fluide supercritique. La solution de l'invention concerne un dispositif d'alimentation en fluide (1) : qui fournit un fluide qui est dans un état liquide de transformation de fluide pré-supercritique vers une chambre de traitement (500) qui comporte un condenseur (130) qui condense et liquéfie du dioxyde de carbone gazeux, un réservoir (140) qui stocke un fluide qui a été condensé et liquéfié par le condenseur (130), une pompe (150) qui alimente en pression le dioxyde de carbone liquéfié stocké dans le réservoir (140) à destination de la chambre de traitement (500), et une partie d'amortisseur (10) qui est disposée sur un trajet d'écoulement (2) qui communique avec un côté d’évacuation de la pompe (150), et qui supprime des fluctuations périodiques de la pression de fluide évacuée de la pompe (150). L'amortisseur (10) a un tube en spirale (20) qui est fixé à l’une ou l’autre extrémité dans une position prescrite et qui transmet le fluide évacué de la pompe (150).
(JA) 【課題】超臨界流体を安定的に供給可能な流体供給装置および流体供給方法を提供する。 【解決手段】超臨界流体へ変化させる前の液体状態の流体を処理室500に向けて供給する流体供給装置1であって、気体状態の二酸化炭素を凝縮液化するコンデンサ130と、コンデンサ130により凝縮液化された流体を貯留するタンク140と、タンク140に貯留された液化された二酸化炭素を処理室500へ向けて圧送するポンプ150と、ポンプ150の吐出側と連通する流路2に設けられ、ポンプ150から吐出される液体の周期的な圧力変動を抑制するダンパ部10を有し、ダンパ部10は、両端部が所定の位置に固定され、かつ、ポンプ150から吐出される液体が流通するスパイラル状に形成されたスパイラル管20を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)